半导体XRD检测 半导体薄膜测试机构

半导体XRD检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，山东半导体XRD检测，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

X射线衍射分析( X-raydiffraction ，简称XRD )，是利用晶体形成的X射线衍射 ，对物质进行内部原子在空间分布状况的结构分析方法。

仪器技术参数

小角衍小角可以达到0.4度，主要测介孔材料和其他高分子复合材料。广角衍射:低角度可以达到5度，可以接收到小于10度的衍射峰。

(1 )测量精度:角度重现性 0.0001° ;测角仪半径≥200mm ，测角圆直径可连续变

(2)小步长0.0001°;角度范围(20):-110~168°;温度范围:室温~900°C;

(3)大输出: 3KW ;稳定性: 0.01% ;管电压: 20~ 60kV(1kV/1step) ;管电流: 10~ 60mA。

送样要求

固体粉末:均均干燥，半导体XRD检测实验室，粒度小于70um (过200目) ， 质不少于100mg ;块体、金属及薄膜样品:需加工出一平整的表面，尺寸约为20mmx 10mmx 2mm

应用领域

物相分析，可以对物质的组成及物相进行表征分析.定性、定量分析，通过精修可对物质的各组分进行的定量分析。

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表征光路及其需要用到的附件

在进行薄膜测试时，我们需要特殊的X射线衍射仪。当我们使用普通测试粉末衍射的聚焦光束来进行物相分析时影响并不大，但是当我们需要评估薄膜质量时，使用平行光路就更为合适了。这时候我们就需要利用特别的光路设计将发散的聚焦光路转换为平行光路。

外延薄膜通常都是的结晶半导体化合物。为了表征其晶体质量也就是评估薄膜晶体的与否，这时候我们需要用到Rocking Curve即摇摆曲线来对薄膜进行评估。并且这时候我们需要在光路中设计一些元件来过滤掉Cu靶辐射出来的CuKα2和CuKβ射线，仅有CuKα1射线波长，从而提高光路的分辨率，防止别的X射线的干扰。

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小角xrd表征什么，大角xrd又表征什么

小角XRD应该是指小角X射线散射吧（SAXS）一般的2θlt;6度，与我们通常所说的广角XRD相比，它可能更多的用于膜或者是孔的测试，半导体XRD检测哪家好，它有专门的仪器测试，不是小角度的广角衍射。常用广角XRD是晶体的晶格常数不同因此会出现不同的衍射峰，根据不同的衍射峰判断物相的成分，一般的情况下晶格常数小于2 nm 时特征峰的2Theta值大于5度时，广角XRD基本可以满足了。

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