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- 2023-05-05 14:42:38
XRD薄膜检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
采用X射线衍射法测定残余应力，早是由俄国学者阿克先诺夫在1929年提出，把材料的宏观应变等同于晶格应变。1961年德国学者Macherauch基于这个思路研究出sin2ψ法，使得X射线衍射测定残余应力逐渐成为成熟的、具有可操作性的测试技术。
X射线衍射测定残余应力技术经过60a的发展，开展出多种不同的测量方法。目前X射线衍射测定残余应力技术主要有sin2ψ法与cosα法两种。
欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~XRD薄膜检测
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●应力公式中不包含无应力衍射角2θ，给应力测试带来方便。
●式中偏导数项，实际是2θ与sin2Ψ关系直线的斜率，采用小二乘法进行线形回归，求解出该直线斜率，代入应力公式中即可获得被测的三个应力分量。
为了获得x轴方向正应力σx，射线应在φ=0°情况下以不同Ψ角照射试样，测试出各Ψ角对应相同(hkI)晶面的衍射角2θ值
为了获得y轴方向正应力σy，射线应在φ=90°情况下进行照射，XRD薄膜检测实验室，测试出各Ψ角对应的晶面衍射角2θ值。为了获得切应力分量Txy，XRD薄膜检测平台，需要分别在φ=0°、45°及90°情况下进行测试。在每个入射方位角φ下，必须选择两个以上Ψ角进行测试。所选择角Ψ的数量，视具体情况而定。
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XRD薄膜检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
X射线衍射分析( X-raydiffraction ，简称XRD )，是利用晶体形成的X射线衍射 ，对物质进行内部原子在空间分布状况的结构分析方法。
仪器技术参数
小角衍小角可以达到0.4度，西藏自治XRD薄膜检测，主要测介孔材料和其他高分子复合材料。广角衍射:低角度可以达到5度，可以接收到小于10度的衍射峰。
(1 )测量精度:角度重现性 0.0001° ;测角仪半径≥200mm ，测角圆直径可连续变
(2)小步长0.0001°;角度范围(20):-110~168°;温度范围:室温~900°C;
(3)大输出: 3KW ;稳定性: 0.01% ;管电压: 20~ 60kV(1kV/1step) ;管电流: 10~ 60mA。
送样要求
固体粉末:均均干燥，粒度小于70um (过200目) ，XRD薄膜检测服务， 质不少于100mg ;块体、金属及薄膜样品:需加工出一平整的表面，尺寸约为20mmx 10mmx 2mm
应用领域
物相分析，可以对物质的组成及物相进行表征分析.定性、定量分析，通过精修可对物质的各组分进行的定量分析。
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