半导体镀膜 阳极键合微纳加工平台 江苏阳极键合微纳加工

MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一

目前微纳制造领域较常用的一种微细加工技术是LIGA。

微纳制造技术是指尺度为毫米、微米和纳米量级的零件，以及由这些零件构成的部件或系统的设计、加工、组装、集成与应用技术。传统“宏”机械制造技术已不能满足这些“微”机械和“微”系统的高精度制造和装配加工要求，必须研究和应用微纳制造的技术与方法。微纳制造技术是微传感器、微执行器、微结构和功能微纳系统制造的基本手段和重要基础。人们普遍承认，阳极键合微纳加工价格，微纳制造技术的发展具有战略重要性，有助于维持欧洲经济区的工业基础，让欧洲在急剧增长的微纳技术产品与服务市场中发挥带领作用。

欢迎来电咨询半导体研究所哟~

MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微纳加工中:自对准的双重成像、双线条光刻、双重光刻工艺中的双沟槽光刻技术、三重光刻等都是硬掩膜的主要应用。那么他，江苏阳极键合微纳加工，它在双沟槽光刻的工艺流程又是如何的呢?﹖我们简单的了解下。

1.硬掩模层(如SiN)被沉积在衬底上。光刻胶材料(PR/BARC)被旋涂在硬掩模之上。

⒉.次光刻之后，在光刻胶上形成沟槽密度为设计时一半的图形，即占空比(沟槽与线条比值)为1:3。

3.采用刻蚀工艺将图形转移到硬掩模层。剥离残余光刻胶之后，做第二次光刻。第二次光刻可以使用不同的光刻材料。第二次光刻的图形，同样通过刻蚀被转移到硬掩模上。

4.把硬掩模上的图形刻蚀到衬底上。

欢迎来电咨询半导体研究所哟~

MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，阳极键合微纳加工平台，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，阳极键合微纳加工外协，以及行业应用技术开发。

微纳加工技术具有高精度、科技含量高、产品附加值高等特点。

微纳加工平台主要提供微纳加工技术工艺，包括光刻、纳米压印、电子束蒸镀、湿法腐蚀、干法腐蚀、表面形貌测量，以及精细雕刻和简单的小型机加工等。该平台的主要任务是适合于生物电子学国家重点实验室基础和应用基础研究的多样性要求，以积极灵活的方式服务于实验室的研究课题，并产生高水平的研究成果，促进生物微流体芯片器件的发展，成为国内生物微流体芯片技术与学术交流和人才培养的重要基地，同时为实验室的学术交流、合作研究提供技术平台和便利条件。

欢迎来电咨询半导体研究所哟~

半导体镀膜(图)-阳极键合微纳加工平台-江苏阳极键合微纳加工由广东省科学院半导体研究所提供。广东省科学院半导体研究所位于广州市天河区长兴路363号。在市场经济的浪潮中拼博和发展，目前半导体研究所在电子、电工产品加工中享有良好的声誉。半导体研究所取得全网商盟认证，标志着我们的服务和管理水平达到了一个新的高度。半导体研究所全体员工愿与各界有识之士共同发展，共创美好未来。