广东微流控光刻机 顶旭苏州微控技术

4．耗材4.1 硅片硅片没有特殊要求，单面抛光即可。制备SU8模具时在硅片抛光旋涂光刻胶。4.2 光刻掩膜板光刻掩膜版（又称光罩，英文为Mask Reticle），简称掩膜版，是制备SU8模具光刻工艺所使用的图形母版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成微结构掩膜图形，通过曝光过程将微结构图形信息转移到SU8光刻胶涂层上，实现微结构的jing确fu制。光刻掩膜版，一般可分为菲林掩膜版和玻璃掩膜版两种。

菲林掩膜板适用于制备线条宽度较大的结构，通常在20微米以上。这种掩膜板制备简单，适合制备相对宽大和较粗糙的图案。然而，由于其分辨率有限，无法满足制备细致微结构的需求。因此，对于需要制备线条宽度大于20微米的简单结构，菲林掩膜板是一个合适的选择。

玻璃掩膜板适用于制备线条宽度小于20微米的精细结构，以及需要多层对准的情况。玻璃掩膜板的制备工艺更加复杂，但由于其高分辨率，能够实现更细致、更jing确的微结构。特别是在需要制备复杂多层结构且对准精度要求较高的情况下，玻璃掩膜板具有明显优势。

在选择掩膜板类型时，应根据所需制备的图案特性、线条宽度以及对制备精度和复杂度的要求进行权衡。菲林掩膜板适用于相对简单的结构，而玻璃掩膜板则更适合制备更细致和复杂的微结构。综合考虑制备目标和技术要求，选择适当的掩膜板类型将有助于确保制备过程的成功和效率。

SU8模具加工平台旨在为SU8模具加工提供一个gao效、全mian的解决方案，该平台集成了桌面光刻机、匀胶机和热板等he心设备。桌面光刻机，体积小巧，采用LED光源，曝光分辨率可达2um，曝光均匀性大于90%，可实现微纳结构的精细制备；匀胶机，转速稳定性为±0.5%，转速达10000转，可确保光刻胶均匀涂敷，提高一致性；热板，温度稳定性±1%，可为SU8模具提供充分的烘烤，从而提升SU8模具结构的耐久性和机械性能。相比传统加工平台，设备体积庞大，环境要求严苛，SU8模具加工平台适应性强，光刻机占地面积小，普通实验室也可轻松部署。SU8模具加工平台，有利于客户快速实现芯片制备，为微流控技术的推广和应用提供便捷途径。

注射泵是一种可以jing确控制液体流量的设备，微流控光刻机，因此在微流控领域有广泛的应用。微流控技术是一种利用微型通道和微型结构进行流体控制和分析的技术，主要应用于生物医学、化学和材料科学等领域。以下是注射泵在微流控领域中的应用：

1.病原体检测：注射泵可以用于微流控芯片中进行液体的输送，从而实现病原体的检测。通过控制注射泵的流速和流量，可以在微流控芯片中jing确地混合样品和试剂，从而实现病原体的分离和检测。

2.药物筛选：注射泵可以用于微流控芯片中进行药物的输送和分配。通过控制注射泵的流速和流量，可以在微流控芯片中jing确地混合药物和细胞，从而实现对药物的筛选和评估。

3.细胞培养：注射泵可以用于微流控芯片中进行细胞培养。通过控制注射泵的流速和流量，可以在微流控芯片中jing确地输送细胞培养基和营养物质，从而实现对细胞的培养和研究。

4.DNA分离和分析：注射泵可以用于微流控芯片中进行DNA的分离和分析。通过控制注射泵的流速和流量，可以在微流控芯片中jing确地输送DNA样品和试剂，从而实现对DNA的分离和分析。

5.蛋白质分析：注射泵可以用于微流控芯片中进行蛋白质的分析。通过控制注射泵的流速和流量，可以在微流控芯片中jing确地输送蛋白质样品和试剂，从而实现对蛋白质的分离和分析。

广东微流控光刻机-顶旭苏州微控技术由顶旭（苏州）微控技术有限公司提供。“微流控芯片定制，微流控芯片加工设备，微流控仪器，表面修饰”选择顶旭（苏州）微控技术有限公司，公司位于：苏州工业园区斜塘街道东富路32号雅景综合产业园A栋A217室，多年来，顶旭坚持为客户提供好的服务，联系人：周经理。欢迎广大新老客户来电，来函，亲临指导，洽谈业务。顶旭期待成为您的长期合作伙伴！