四川成都芯片开封测试实验室 优尔鸿信

在芯片失效分析中，开封（Decapsulation）是决定成败的关键前置环节。一旦开盖损伤了键合线或晶圆表面，后续电学测试将毫无意义。如今，激光开封技术正凭借其“无损、高效”的优势，逐步替代传统化学酸蚀。

什么是芯片开封测试？

芯片开封测试是指利用物理或化学手段，去除芯片外部环氧树脂、陶瓷或金属封装壳，暴露内部晶圆（Die）、键合线（Bonding Wire）和焊盘（PAD）的工艺过程。其核心要求是：去壳不去芯，确保内部结构电性及物理形态完好无损。

激光开封的原理

我们采用紫外冷激光（UV Laser），利用其短波长（355nm）特性，通过光化学分解作用打断塑封料的高分子链，而非单纯依赖热烧蚀。

热影响区（HAZ）控制：激光脉宽控制在纳秒级，热扩散范围被严格限制在<2μm，这意味着激光路径旁哪怕紧挨着2微米的金线，也不会受热熔断。

逐层剥离技术：通过设定扫描路径和深度，像3D打印的逆向操作一样，将封装材料层层气化剥离，直至恰好露出晶圆表面钝化层。

开封后的判定标准

如何证明无损：

光学显微检查（OM）：键合线弧度无塌陷、无变色，铝垫表面无坑洞。

电性参数复测：开封前后，芯片漏电流（Ileak）及阻抗值波动不超过±3%。

SEM扫描电镜复核：放大至5000倍，确认晶圆表面钝化层无微裂纹。