旋转硅铝靶 硅铝合金靶 硅铝管 SiAl 喷涂工艺

旋转硅铝靶 Rotatable SiAl Alloy target 

应用：用于制作SiO2膜、Si3N4膜，主要用于光学玻璃AR膜系，Low-E玻璃膜系,半导体电子, TFT, 平面显示. 触摸屏玻璃
 

产品化学成分和物理性能：

化学式：SiAl成分： SiAl（90：10wt%±2%、25:75wt%）

成型工艺：喷涂

密度:  >2.2g/cm3（>94%）

纯度:  > 99.9%

最大杂质含量 （单位:  ppm， 总杂质含量≤ 1000ppm)

最大加工尺寸

长度L 4000MM    厚度T 6-13MM

直型、狗骨型

按客户要求定做