旋转硅靶 高纯硅靶 硅平面靶 用于平面显示和触摸屏

旋转硅靶 Rotatable Si target

应用： 用于制作SiO2/Si3N4膜，主要用于光学玻璃、触摸屏之AR膜系，Low-E玻璃膜系, ,半导体,平面显示,触摸屏

产品化学成分和物理性能：

化学式：Si

电阻率（20°C）： ≤  70 Ω. cm

成型工艺：喷涂

密度:   > 2.2g/cm3（>95%）

纯度:   > 99.95%

最大杂质含量 （单位:  ppm， 总杂质含量≤ 500ppm)

最大加工尺寸

长度L 4000MM    厚度T 6-10MM

直型、狗骨型

按客户要求定做