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- 苏州微麦光电有限公司
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- 发布时间
- 2019-02-26 07:50:48
在刻画时,采用步进机刻画(stepper),其中有电子束和激光之分,激光束直接在涂有铬层的4-9“ 玻璃板上刻画,边缘起点5mm,与电子束相比,其弧形更逼真,线宽与间距更小。光掩膜有掩膜原版(reticle mask,也有称为中间掩膜,reticle作为单位译为光栅),用步进机重复将比例缩小到master maks上,应用到实际曝光中的为工作掩膜(working mask),工作掩膜由master mask复i制过来。
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
菲林在使用中需注意的事项
虽然一般的照排菲林均为明室片,可在室内光源下完成装片过程,但在实际生产中还是应该严格遵守操作规程,按要求将菲林装入装片盒中,台上护盖,拧紧盒顶两侧的螺钉(注意两侧均一用力保持平衡)然后撕掉护膜引片,使露在出片口的胶片两边平行,宽度在1.5~2cm左右,在搬运的过程中要托住盒底,掩膜板,防止胶片脱落。
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刻蚀或离子注入完成后,将进行光刻的最后一步,即将光刻胶去除,以方便进行半导体器件制造的其他步骤。通常,半导体器件制造整个过程中,会进行很多次光刻流程。生产复杂集成电路的工艺过程中可能需要进行多达50步光刻,而生产薄膜所需的光刻次数会少一些。