CVD气相沉积炉

化学气相沉积炉（沉积炭）可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的复合材料的化学气相沉积，如C/C复合材料、SiC复合材料等CVD、CVI处理。

主要配置：

炉门：丝杠升降//液压升降/手动升降；手动锁紧/自动锁圈锁紧

炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC

加热器：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨

工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产

真空泵和真空计---进口/国产PLC：欧姆龙/西门子

控温仪表：日本岛电/英国欧陆

热电偶：C分度号/S分度号/K分度号/N分度号

记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪；进口/国产

人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机

电器元件：正泰/施耐德/西门子

料车：滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车

技术特征：

本化学气相沉积炉最大工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；

本化学气相沉积炉采用多温区独立控温，温度均匀性好；

本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；

本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。