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- 沈阳鹏程真空技术有限责任公司
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- 发布时间
- 2020-02-13 04:10:40
脉冲激光沉积简介
脉冲激光沉积,激光镀膜设备,就是将激光聚焦于靶材上一个较小的面积,PLD300A型激光镀膜设备供,利用激光的高能量密度将部分靶材料蒸发甚至电离,使其能够脱离靶材而向基底运动,进而在基底上沉积,从而形成薄膜的一种方式。 在众多的薄膜制备方法中,脉冲激光沉积技术的应用较为广泛,PLD300A型激光镀膜设备哪,可用来制备金属、半导体、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物及氟化物等各种物质薄膜,PLD300A型激光镀膜设备厂,甚至还用来制备一些难以合成的材料膜,如金刚石、立方氮化物膜等。
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脉冲激光沉积系统特点及优势
可根据客户需求定制产品,灵活性高,并提供专业的技术支持;靶台可以安装6个靶位,靶材更换灵活;样品台样品尺寸从10x10mm样品到2英寸样品均适用;进样室可以存储多个靶和样品;交易过程无需繁琐的进、出关手续, 交货期短,性价比高;
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脉冲激光沉积系统配置介绍
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脉冲激光沉积系统配置:
生长室,进样室可选水平、垂直两种靶台可选激光加热和辐射加热两种样品台可选,激光加热高的温度1200℃工艺气路可以任意搭配配备高压RHEED,工作气压可达100Pa可预留法兰,用于LEED,K-Cell, E-beam等其它可选项如臭氧发生器,离子源,掩膜系统等。