高端定制PVD镀膜设备- IS系列磁控溅射镀膜设备

        IS系列磁控溅射镀膜设备主要是（集）高能粒子束清洗技术（IONBEAM）和磁控溅射(SPUTTER)两种技术融合一体，可以适应广泛镀膜靶材，无论是金属还是介质、化合材料都可以利用溅射工艺进行镀膜及成膜，使膜层附着力、致密度、重复度及颜色一致性好等特点。可镀制TiN、TiC、TiCN、TiAlN、CrN、Cu、Au、金刚石膜（DLC）、装饰膜等非金属及其化合物的膜层和复合膜层。采用可编控制器PLC+触摸屏HMI组合电气控制系统，实现全自动控制。

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