Posifa推出宽量程MEMS真空传感器

发布时间:2026-03-20 06:21  点击:1次

Posifa Technologies近日推出了其PVC4000系列的最新成员——PVC4001-C MEMS皮拉尼真空传感器。这款专为低成本OEM集成设计的设备,将MEMS热传导传感器、测量电子元件、微处理器以及板载气压传感器高度集成在一个超紧凑的PCB组件中,并配有连接器端接的线束,极大简化了系统集成的复杂度。

该器件基于Posifa第二代MEMS热传导芯片,利用气体热导率与真空压力成正比的原理工作。其内部电子电路和微处理器负责放大并数字化传感器信号,最终通过I²C接口输出数据。对于需要校准输出的应用场景,用户可输入多达10组校准点,利用内置的分段线性化算法确保测量精度。

针对环境变化带来的性能波动,PVC4001-C内置了温度传感器以支持温度补偿算法,有效抵消环境温度变化对热导率的影响。此外,设备采用脉冲激励方案,即传感器加热约100毫秒后关闭1秒,这种机制不仅显著降低了高真空环境下的自热漂移,还大幅减少了功耗,使其非常适合电池供电的便携式仪器。

在性能指标上,PVC4001-C提供了从0.001托到900托(1.3×10⁻⁴ kPa至120 kPa)的宽测量范围,响应时间小于200毫秒。鉴于传统皮拉尼传感器在超过10托时分辨率会下降,该设备创新性地集成了板载气压传感器,支持在10托至760托的扩展范围内实现5%的测量精度。这一特性使其成为便携式数字真空计以及维持在主真空下的密闭系统(如真空绝热板)泄漏检测的理想选择。

此外,该器件还具备低功耗、抗污染能力强以及-25°C至+85°C的宽工作温度范围等优势。对于中国传感器行业而言,这种将真空测量与气压补偿高度集成、兼顾宽量程与低功耗的MEMS方案,为国产便携式检测设备的升级提供了极具参考价值的技术路径。

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