英特尔(Intel)于VLSI 2026大会上正式披露了其18A-P制程技术的详细规格。作为18A工艺的演进版本,18A-P目前已进入风险量产阶段,并引入了名为“Power Boost”的行业首创双接触晶体管架构。该工艺在保持与18A完全设计规则兼容的前提下,实现了同功耗下9%的性能提升或同性能下18%的功耗降低,主要面向对能效敏感的AI和高性能计算(HPC)应用场景。
18A-P的核心突破在于其“Power Boost”特性。英特尔利用PowerVia背面供电技术,为NMOS和PMOS晶体管实现了双接触结构。这种低电阻晶体管选项在匹配电容的情况下,显著增加了驱动电流并提升了工作频率。对于芯片设计而言,这意味着在相同的芯片面积(Footprint)内,可以压榨出更高的运行频率,特别适用于电源受限的高密度计算场景。目前,18A-P提供160nm和180nm两种晶体管单元高度,接触多晶硅间距为50nm,与基础版18A保持一致。
在热管理和互连性能方面,18A-P通过材料和设计创新带来了显著改善。借助增强的EDA工作流,其热阻降低了20-40%,这对于解决高密度芯片的散热瓶颈至关重要。硅通孔(TSV)电阻也改善了10-30%。英特尔还引入了PMOS迁移率增强技术,通过应变工程让电流在晶体管中更高效地流动,并新增了一对介于超低阈值电压(ULVT)和低阈值电压(LVT)之间的第五逻辑Vt选项,为设计师提供了更精细的速度与功耗平衡手段。
背面供电技术在18A-P中继续发挥关键作用。通过将主要电源布线移至晶圆背面,英特尔有效减少了正面互连的拥堵和应力。结合32nm金属工艺,该技术不仅实现了11%的面积缩减,还缩短了导线长度并减少了过孔数量。这种设计不仅降低了制造步骤,还提升了成本效益,为下一代芯片的构建提供了更具经济性的方案。

除了18A-P,英特尔代工部门还展示了多项前沿研究成果。在300mm GaN(氮化镓)与硅混合技术方面,团队实现了每级6.2阿焦耳(aJ)的功耗延迟积(PDP),效率比此前GaN逻辑方法高出1000倍以上,并展示了迄今最大规模的GaN集成逻辑电路。在CFET(互补场效应晶体管)领域,团队在45nm栅极间距下实现了3D晶体管堆叠,并通过选择性移除未使用器件简化了工艺。基于空气间隙的减成法钌(Ru)互连技术也展示了比传统铜互连高达35%的电容降低,从而提升了信号传输效率。
在商业化进展方面,英特尔已在Computex 2026上宣布,其下一代至强(Xeon)CPU Diamond Rapids将基于18A-P工艺制造。这一内部产品的采用向客户展示了对其工艺能力的信心。据报道,TeraFab、SpaceX和苹果等公司已与英特尔代工建立联系,而NVIDIA和Google等AI巨头也因供应链缺口扩大,预计将以不同方式利用其代工服务。
对于中国半导体产业链而言,18A-P的发布标志着先进制程竞争进入“背面供电+双接触”的新阶段。目前主要客户集中在北美科技巨头,但其对能效比的追求与当前AI芯片的发展趋势高度契合。国内企业在采购或评估替代方案时,需关注其在热阻改善和互连优化方面的具体数据,以及未来在成熟制程节点上的技术溢出效应。
