电子级正己烷——从硅片表面清洗到聚合反应溶剂的多元应用
正己烷作为低沸点烃类溶剂,在半导体硅片表面的油脂类颗粒清洗和光刻胶树脂的溶液聚合反应中均有应用。其快速挥发特性使得清洗后的硅片无需高温烘烤即可进入下一道工序。山东安达化工电子级正己烷的纯度≥99.5%(含异构体),水分≤0.01%,芳烃≤10ppm,不挥发物≤2ppm,硫≤1ppm。
在半导体光刻胶树脂的合成中,正己烷常作为沉淀剂或聚合反应溶剂使用。其纯度直接影响树脂的分子量分布和透光率。山东安达化工通过加氢脱芳和5A分子筛吸附工艺,将产品的紫外吸光度(在200nm处)控制在0.1以下,确保不会在树脂中引入紫外吸收杂质。
对于使用正己烷进行硅片蒸汽干燥工艺的客户,山东安达化工还可提供更高纯度的“色谱级”规格产品,其杂质峰数量在GC-FID检测条件下不超过5个,总杂质峰面积≤0.5%。产品包装为镀锡铁桶或高纯铝瓶。
