可拆卸柔性保温套半导体管道电加热套管路加热包阀门加热马甲

一、应用场景与作用

1. 应用场景

在半导体工厂中，部分工艺设备生产需要使用各种特殊气体。这些气体在工艺过程中会反应、形成有毒有害的工艺尾气，由真空泵从反应腔体内抽至Scrubber处理后方可排向Exhaust主管道。

其中部分尾气含有TiClx、AlClx、MoClx、MoFx、SiO2，上述气体极易在室温条件下结晶，附着在排气管壁上，引起排气管堵塞宕机，同时造成排气管的损伤。因此需对该管路加装加热夹套（Heating jacket)进行温度干预，避免管路堵塞。

加热夹套（Heating jacket）应用于制程工艺设备主机台到Pump，Pump到Scrubber之间的管路。（见下图）

一般ETCH、DIFF、CVD、EPI等工艺的Pumping line和Pump exhaust管路需加装加热夹套。工作温度：120℃左右，PVD：150℃-170℃（亦有180℃），ETCH：80℃-120℃。

2. 应用作用

通过升高管路工作温度，减缓管内介质结晶，避免管路堵塞，延长PM周期，提高产能。

二、实物呈现与产品结构

实物图片

2.产品结构 （如图）

三、工作原理与延伸配套

1. 工作原理

加热夹套内缝制固定的加热丝通电后，温度逐步升高；通过调节控制系统的人机界面和单元控制器，使整条管路和每个单元达到需求的工作温度。

2.延伸配套

温控箱