半导体XRD研究所 半导体衬底服务 河南半导体衬底

半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

XRD结晶度计算公式和分析方法是什么？

XRD结晶度是根据部分结晶聚合物的X射线衍射强度峰总面积中晶区部分贡献的百分数计算的结晶度。

　　分析方法：

　　已知波长的X射线来测量θ角du，从而计算出晶面间距d，这是用于X射线结构分析zhi；dao另一个是应用已知d的晶体来测量θ角，从而计算出特征X射线的波长，进而可在已有资料查出试样中所含的元素。

　　分析晶体衍射基础的公式是布拉格定律：2d sinθ=nλ，式中λ为X射线的波长，n为任何正整数，又称衍射级数。

　　当X射线以掠角θ(入射角的余角)入射到某一点阵平面间距为d的原子面上时，在符合上式的条件下，将在反射方向上得到因叠加而加强的衍射线。

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我想知道不同衍射角对应的晶面，怎么办？

　　如果你的图能够找到对应的粉末衍射数据卡，那么问题就简单了。多数的粉末衍射数据卡上面都给出了各衍射线的衍射指标，也就可以知道对应的晶面了。

　　如果是未知晶体结构的图，就需要求解各衍射线的衍射指标，这一步工作叫做"衍射图的指标化"。如自己解决需要具备基础的晶体学知识，半导体衬底服务，然后学会一两个指标化的工具软件（如treaor90）进行尝试。

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XRD测试结晶性

角度θ为布拉格角或称为bai掠射角。关于XRD的测量原理比du较复杂，zhi要知道晶体学和X射线知识。简单dao的来说（对粉末多晶）：当单色X射线照射到样品时，若其中一个晶粒的一组面网（hkl）取向和入射线夹角为θ，半导体衬底选哪家，满足衍射条件，则在衍射角2θ（衍射线与入射X射线的延长线的夹角）处产生衍射。

　　但在实际应用中，我们只需用仪器做出XRD图谱，然后根据pdf卡片来知道所测物质的种类，和结构。pdf卡片是X射线衍射化学分析联合会建立的物质的衍射数据库。他们制备了大量的物质，使用者只要把自己的图谱和标准图谱对比就能知道自己的物质种类及结构。随着计算机技术的发展，现在都是通过导入研究者测试得到的XRD图谱，电脑软件（如Jade）通过匹配度寻找与之比配的pdf卡片，很方便。

　　在XRD中，不仅可以定性得到物质的种类，相结构。而且可以通过谢乐公式得到晶粒尺寸以及通过精修手段得到晶胞常数。

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