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- 2022-09-23 10:43:39
半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
特别是混合物,各相之间的MAC都随所选波长而变化,波长选择不当很可能造成XRD定量结果不准确。
因为不同元素MAC突变拥有不同的波长,大功率XRD服务,该波长就称为材料的吸收限,若超过了这个范围就会出现强的荧光散射。所以分析样品中的元素选择靶材时,一般选择原子序数比靶的元素的原子序数小1至4。就会出现强的荧光散射。例如使用 Fe 靶分析主要成分元素为 Fe Co Ni 的样品是合适的,湖南大功率XRD,而不适合分析含有Mn Cr V Ti 的物质常见的阳极靶材有:Cr, Fe, Co, Ni, Cu, Mo, Ag, W,常用的是Cu靶。
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不同的靶材,因为其原子序数不同,外层的电子排布也不一样,所以产生的特征X射线波长不同。使用波长较长的靶材的XRD所得的衍射图峰位沿2θ轴有规律拉伸;使用短波长靶材的XRD谱沿2θ轴有规律地被压缩。但需要注意的是,不管使用何种靶材的X射线管,从所得到的衍射谱中获得样品面间距d值是一致的,与靶材无关。
辐射波长对衍射峰强的关系是:衍射峰强主要取决于晶体结构,但是样品的质量吸收系数(MAC)与入射线的波长有关,因此同一样品用不同耙获得的图谱上的衍射峰强度会有稍微的差别。特别是混合物,各相之间的MAC都随所选波长而变化,波长选择不当很可能造成XRD定量结果不准确。
辐射波长对衍射峰强的关系是:衍射峰强主要取决于晶体结构,但是样品的质量吸收系数(MAC)与入射线的波长有关,因此同一样品用不同耙获得的图谱上的衍射峰强度会有稍微的差别。特别是混合物,各相之间的MAC都随所选波长而变化,波长选择不当很可能造成XRD定量结果不准确。
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xrd峰偏移原因有哪些
XRD峰值向左偏移通常是指向小角度偏移,意味着变大,常见是掺入了比主体大的杂原子出现“掺杂”,杂质原子会使晶胞参数变大或变小;如果左移,说明晶胞参数变大,晶面间距变大;制样时要尽量使样品和样品板相平,制样做出的数据才准确.如样品高于样品板参照面就会使衍射峰左移。
如果不是全谱所有峰都发生位移而只是少数或个别高角度峰发生位移,则不是掺杂原子引起变化所致,很可能是存在宏观,引起晶格畸变的反映.宏观可能引起晶格收缩,对某些为压应力时峰向高角度发生位移,反之为拉应力时衍射峰向低角度发生位移。
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