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XRD晶粒尺寸单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


1913年英国物理学家布拉格父子(W.H.Bragg,W.L.Bragg)在劳厄发现的基础上,不仅成功地测定了NaCl、KCl等的晶体结构,并提出了作为晶体衍射基础的公式——布拉格定律:

2d sinθ=nλ,式中,λ为X射线的波长,XRD晶粒尺寸价格,衍射的级数n为任何正整数。

当X射线以掠角θ(入射角的余角,又称为布拉格角)入射到某一具有d点阵平面间距的原子面上时,在满足布拉格方程时,会在反射方向上获得一组因叠加而加强的衍射线。

物质有没有固定的熔点、沸点,并没有验证是一个纯净物、包括晶体的独有的予以可区别其它物质的测试属性。晶体的熔点、沸点是相对比较固定,熔程也是比较窄,但拥有这一熔点、沸点的物质未必一个;有些非晶体的纯净物,其熔点沸点也会在一定数值、熔程也会很窄。总之,可能在二十世纪初期还可以这样做,但现在更科学的大型精密仪器分析法出现后,就不被认同了。


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X射线衍射仪是对物质和材料的组成和原子级结构进行研究和鉴定的基本手段。X射线衍射仪对单晶、多晶和非晶样品进行结构参数分析,如物相鉴定和定量分析、室温至高温段的物相分析、晶胞参数测定(晶体结构分析)、多晶X-射线衍射的指标化以及晶粒尺寸和结晶度的测定等。可地测定物质的晶体结构,如:物相定性与定量分析,衍射谱的指标化及点阵参数。

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特点:

(1)能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素,元素定性、定量分析,几分钟即可完成。

(2)对试样与探测器的几何位置要求低:对W.D的要求不是很严格;可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。

(3)能谱所需探针电流小:对电子束照射后易损伤的试样,例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。

(4)检测限一般为0.1%-0.5%,中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%。

3、XRD,X射线衍射是测定晶体结构的。X射线衍射,通过对材料进行X射线衍射,分析其衍射图谱,分析材料的成分等。



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