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- 2022-10-24 10:21:53
半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
XRD物相分析
基本原理:每一种晶体物质和它的衍射花样都是一一对应的,不可能有两种晶体给出完全相同的衍射花样。随着XRD标准数据库的日益完善,XRD物相分析变得越来越简单,目前常见的操作方式是将样品的XRD谱图与标准谱图进行对比来确定样品的物相组成。XRD标准数据库包括JCPDS(即PDF卡片),ICSD,CCDC等,分析XRD谱图的软件包括Jade,Xpert Highscore等,这里推荐使用Jade。在Jade软件中,专门有一个功能叫Identify。里面的Search/Match功能可以将样品的衍射图样与标准谱图进行对比,给出与所测样品相吻合的标准谱图信息。在Jade的Search/Match功能中会给出标准谱图的衍射条纹,物相名称,化学式,匹配程度(FOM),PDF卡片编号,点群,锂电XRD检测实验室,晶胞参数,ICSD编号等。其中,FOM为匹配率的倒数,值越小,匹配越好。双击选中的标准物质卡片,会弹出来标准物质详细的references和衍射数据值,该数据可以导出使用。图中所示比较重要的数据包括晶面间距d, 晶面指数hkl以及标准谱图衍射峰位置和相对强度等。
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(2)获得了一批Co合金试样的XRD衍射数据,试样中Co含量超过95%。试样的谱线均在纯钴谱线左侧,低角度谱线偏离0.2度左右,高角度谱线偏离0.3-0.4度左右。请问它们是第二相固溶引起的吗?它们与固溶程度有什么定性和定量的关系?
根据布拉格公式,峰位置向左偏移,相当于d值变大了,反映其晶胞参数变大了,说明在Co的晶格中渗入了其他的原子。另外,江苏锂电XRD检测,没有出现新的衍射峰,锂电XRD检测多少钱,说明是铝的无序固溶体,保持着纯铝的晶体结构。
(3)已知X射线衍射数据,如何计算晶粒尺寸晶格常数和畸变?
根据衍射峰的峰形数据可以计算晶粒尺寸晶格常数和畸变。在衍射峰的宽化仅由于晶粒的细小产生的情况下,根据衍射峰的宽化量应用Scherrer公式便可以估算晶粒在该衍射方向上的厚度。
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SAXS
SAXS又称为小角x射线散射,如果试样具有不同电子密度的非周期性 结构(晶区和非晶区),则x射线被不相干 散射,有波长的改变,这种过程称为漫射x射线衍射效应(简称散射),在小角度上测定所以又称为:小角x射线散射 (SAXS)。
WAXD
WAXD又称为大角X射线衍射,如果试样具有周期性结构(晶区),则x射线被相干散射,入射光与散射光之间没有波长的改变, 这种过程称为x射线衍射效应,在大角度上测定:又称为大角X射线衍射(WAXD)
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