XRD薄膜检测实验室 半导体研究所 福建XRD薄膜检测

XRD薄膜检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

X射线物相分析

X射线照射晶体物相产生一套特定的粉未衍射图谱或数据D-I值。其中D-I与晶胞形状和大小有关，相对强度I/I0，与质点的种类和位置有关。

与人的手指纹相似，每种晶体物相都有自己的XPD谱。不同物相物质即使混在一起，它们各自的特征衍射信息也会独立出现，互不干扰。据此可以把任意纯净的或混合的晶体样品进行定性或定量分析。

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XRD因其的优点，广泛应用于医学、工业和研究领域中，XRD薄膜检测机构，XRD也可用于小角度散射、微晶粒尺寸和X射线微观应力的测定，这使得XRD具有更广泛的应用。使用中定性分析需完善PDF卡片，福建XRD薄膜检测，衍射仪要求分辨率高；定量分析中要尽量减少择优取向，因此XRD的联用技术具有很大的开发潜力。如何将XRD与其它技术进行联用，更好的利用其衍射数据进行分析仍是一个热点问题。

2.为什么XRD测试要求薄膜（块体）样品尺寸要合适？

因为放置薄膜（块体）样品的样品台尺寸是固定的，用橡皮泥来固定样品，样品太大放不进去，XRD薄膜检测实验室，样品太小不好固定。

3.为什么XRD数据的峰强度较低，甚至没有明显的衍射峰？

样品的衍射峰强度跟样品本身的结晶度有关，XRD薄膜检测价格，其次跟样品量以及仪器的功率都有关系。如果样品量太少的话得到的峰强度就一定会很低，这时候可能增加量来排除是不是样品数量对测试数据产生影响。

4.XRD研究的是材料的体相还是表面相？

因为XRD采用单色X射线为衍射源，一般情况下可以穿透样品从而验证其内部结构与特征，因此XRD研究的是材料的体相结构信息。

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小角衍射的特点：

（1）小角X射线衍射具有和常规XRD的功能，可以确定物质的晶相，结晶度，晶畴尺寸，取向度等

（2）通过对入射X射线的角度的控制来减少照射到衬底中的X射线，从而用来消除或减少衬底的影响

（3）可以探测多层膜的层数、厚度和表面粗糙度等

（4）小角X射线衍射对几何光路的要求比常规X射线衍射仪的几何光路要求要严得多。

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