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半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

为什么晶粒尺寸的变化会引起 X 射线衍射的峰线宽化?

  理想的晶体是在三维空间中无i限的周期性延伸的,所以,如果不考虑仪器宽化的因素,那么理想晶体的衍射峰应该是一条线,但是实际晶体都是有尺寸的,XRD小角度检测报告,即,周期性不是无i限的,这就造成了由于结晶粒度引起的宽化,如果结晶粒度无i限小下去,衍射峰就会宽化直至消失变成大鼓包了,也就是非晶了。



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对样品粉末粒度的要求

  任何一种粉末衍射技术都要求样品是十分细小的粉末颗粒,使试样在受光照的体积中有足够多数目的晶粒。因为只有这样,才能满足获得正确的粉末衍射图谱数据的条件:即试样受光照体积中晶粒的取向是完全机遇的。这样才能保证用照相法获得相片上的衍射环是连续的线条;或者,才能保证用衍射仪法获得的衍射强度值有很好的重现性。

  此外,将样品制成很细的粉末颗粒,还有利于抑制由于晶癖带来的择优取向;而且在定量解析多相样品的衍射强度时,可以忽略消光和微吸收效应对衍射强度的影响。所以在精u确测定衍射强度的工作中(例如相定量测定)十分强调样品的颗粒度问题。



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我想知道不同衍射角对应的晶面,怎么办?

  如果你的图能够找到对应的粉末衍射数据卡,那么问题就简单了。多数的粉末衍射数据卡上面都给出了各衍射线的衍射指标,XRD小角度检测服务,也就可以知道对应的晶面了。

  如果是未知晶体结构的图,就需要求解各衍射线的衍射指标,这一步工作叫做"衍射图的指标化"。如自己解决需要具备基础的晶体学知识,然后学会一两个指标化的工具软件(如treaor90)进行尝试。



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