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- 发布时间
- 2022-11-11 10:18:36
AlGaN材料XRD检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
基于Omega扫描全自动晶体定向仪原理
单晶的生长和应用需要确定其相对于材料外表面或其它几何特征的晶格取向。
目前主要采用的定向方法是X射线衍射法,测量一次只能获取一个晶格的平面取向,测量出所有完整的晶格取向需要进行反复多次测量,通常是进行手动处理,而完成这个过程至少需要几分钟甚至数十分钟。
全自动晶体定向仪采用先进omega扫描方法进行扫描测试,Omega全自动晶体定向仪可以在很短的时间内,通过一次测量获取晶体的全部晶格数据。
因此,omega全自动晶体定向仪特别适合于系列研究和工业应用。
欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~AlGaN材料XRD检测
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EDS,XRD和XPS进行成分分析的相同点和不同点是什么
能谱仪,是用来对材料微区成分元素种类与含量分析,配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。EDS的分析结果里面会有原子比(atomic%)和元素比(也就是质量比,weight%)的数据,这里要提醒大家注意一点,因为EDS分析并没有那么,所以尽管分析报告的结果会有两位小数,但只取一位小数就够了。
X射线光电子能谱(XPS )是一种表面分析方法,提供的是样品表面的元素含量与形态,而不是样品整体的成分。其信息深度约为3-5nm。原则上可以测定元素周期表上除氢、氦以外的所有元素。
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XRD因其的优点,AlGaN材料XRD检测机构,广泛应用于医学、工业和研究领域中,XRD也可用于小角度散射、微晶粒尺寸和X射线微观应力的测定,AlGaN材料XRD检测平台,这使得XRD具有更广泛的应用。使用中定性分析需完善PDF卡片,衍射仪要求分辨率高;定量分析中要尽量减少择优取向,因此XRD的联用技术具有很大的开发潜力。如何将XRD与其它技术进行联用,更好的利用其衍射数据进行分析仍是一个热点问题。
2.为什么XRD测试要求薄膜(块体)样品尺寸要合适?
因为放置薄膜(块体)样品的样品台尺寸是固定的,用橡皮泥来固定样品,样品太大放不进去,黑龙江AlGaN材料XRD检测,样品太小不好固定。
3.为什么XRD数据的峰强度较低,甚至没有明显的衍射峰?
样品的衍射峰强度跟样品本身的结晶度有关,其次跟样品量以及仪器的功率都有关系。如果样品量太少的话得到的峰强度就一定会很低,这时候可能增加量来排除是不是样品数量对测试数据产生影响。
4.XRD研究的是材料的体相还是表面相?
因为XRD采用单色X射线为衍射源,一般情况下可以穿透样品从而验证其内部结构与特征,因此XRD研究的是材料的体相结构信息。
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