半导体XRD测试机构 福建XRD摇摆曲线检测

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2022-11-26 10:09:30
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XRD摇摆曲线检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

薄膜的XRD测试

有部分同学的研究可能会涉及到涂层薄膜的研究,比如在玻璃基底上生长电池材料薄膜,这种样品由于绝大多数都是多晶状态,XRD摇摆曲线检测平台,而且厚度有限(通常从几十纳米到微米),如果用常规XRD方法测试,由于在衍射方向薄膜样品厚度非常小,导致参与衍射的晶面非常少,造成样品信号很难测出。

这时我们就需要采用掠入射X射线衍射(GIXRD)的办法对样品进行测试,福建XRD摇摆曲线检测,掠入射XRD实质是通过X射线小角度照射样品,使更多的晶粒参与衍射,以弥补常规衍射方向厚度的不足,它使x射线束的穿透力被极大的限制,大大提高了分析样品的表面分析灵敏度,且能分析体积相对较大的样品。





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关于试片平面的准备

一般讲,尺寸细且均匀,颗粒成球状,性质比较稳定的粉末样品是比较理想的。

关于压制样品:一般的粉末样品好能够盖满整个样品槽,较少的时候沿着与光源垂直的方向成一个线状分布也可以,压的时候不要用太大力气,对于一些粘性比较大的样品可以先蒙上一张称量纸,上面用玻璃片轻轻压平,然后将称量纸轻轻取下来即可。

需要注意的问题:对于同一系列的样品,如果力道差别很大,就会引起样品密度的变化,XRD摇摆曲线检测分析,从而会使衍射的强度受到影响。

关于试片的厚度

X射线的穿透能力很强,一般在10μm~20μm的数量级。所以必须考虑试样的厚度




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5.精修的时候Size是怎么知道的?

答:通过单晶衍射仪,晶体在衍射环中的大小来预估的。

6.checkcif报告算是一个确认解析正确无误的可信依据吗?没有错误在里面就行吗?

答:对的,没有严重的A和B类错误,是可以发表的。

7.如果解出来的结构有disorder作图的时候就是那样全部保留着作图 ,还是删掉低占有率的,然后再作图啊?还有这个diamond出的图感觉清晰度好像也不是那么清楚, 怎么把出图的清晰度调高一些啊?

答:结构中有无序disorder时,把占有率低的一半原子删掉,保留占有率高的一半。在Diamond软件里有个Picture,选Layout,里面有可以调图片大小和分辨率的。

8.合成出2到3mm大小的单晶,这个尺寸适合拿来单晶测试吗?

答:这个尺寸大了,理想尺寸是0.3-0.5mm。但是过大的尺寸,我们可以通过刀来进行切割后再测试。



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