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- 发布时间
- 2022-11-26 10:09:30
AlGaN材料XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，AlGaN材料XRD检测平台，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
关于XRD图谱
1）衍射线宽化的原因
用衍射仪测定衍射峰的宽化包括仪器宽化、试样本身引起的宽化。试样引起的宽化又包括晶块尺寸大小的影响、不均匀应变（微观应变）和堆积层错（在衍射峰的高角一侧引起长的尾巴）。后二个因素是由于试样晶体结构的不完整所造成的。
2）半高宽、样品宽化和仪器宽化
样品的衍射峰加宽可以用半高宽来表示，样品的半高宽FWHM是仪器加宽FW（I）和样品性质（晶块尺寸细化和微观应力存在）加宽FW（S）的卷积。为了求得样品加宽FW（S），必须建立一个仪器加宽FW（I）与衍射角θ之间的关系，也称为FWHM曲线。 该曲线可以通过测量一个标样的衍射谱来获得。标样应当与被测试样的结晶状态相同，标样必须是无应力且无晶块尺寸细化的样品，广东AlGaN材料XRD检测，晶粒度在25μm以上，如NISTA60Si和LaB6等。
欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~AlGaN材料XRD检测
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制作试片的技巧
压片法：粉末均匀撒入样品池——用小刀剁实压紧——刮去多余凸出的粉末
涂片法：粉末撒在25mm*35mm*1mm的载玻片上——滴上足量的或酒精（假如试样在其中不溶解）——待/酒精挥发
两种制备几乎无择优取向试片的方法：（塑合法）（喷雾法）
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样品的挑选：
宏观特征：应该是透明，没有裂痕，表面干净，有光泽。（不是所有晶体都是透明的，但是好的晶体样品一定是没有裂痕的且没有明显的突出和凹陷，因为裂痕处会产生晶格错位，AlGaN材料XRD检测报告，影响测试结构的准确性）
形貌特征：晶体样品如果是圆球状，那么这个晶粒样品很可能是非晶态，在测试过程中无法出现衍射图谱。晶体样品如果是树枝状活簇状晶体，尽量不要在这些上切割一个晶粒，好选择单一的一粒，因为切割会影响测试结果。
其他特征：晶体样品一般不溶于水，一般溶于水的样品都是无机盐。
样品的大小：
光源所带的准直器的内径决定了X射线强度一致区域的大小，晶体的尺寸一般不能超过准直器的内径（常用的为0.5-0.6mm）。（我们要求是大于50微米）
晶体合适的尺寸是：纯有机物0.3-0.7mm，金属配合物或金属有机物0.15-0.5mm，纯无机物0.1-0.3mm。
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