半导体薄膜测试机构 XRD晶粒尺寸检测平台

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2022-11-28 01:58:33
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XRD晶粒尺寸检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


计数管法

用X射线测定应力,其精度受到许多因素的影响,如被测试件材料的结构、晶粒的粗细程度、衍射面的选择、X射线的波长、采用的测量方法、被测试件表面的平滑度和处理情况等。

70年始使用的多缝平行光阑的平行光束X射线应力测定仪,具有限制X射线入射和衍射光束的水平发散度的效能,提高了测量的精度。X射线测定应力的精度,已能达到±(1~2)千克力/毫米2。




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双晶衍射仪法

双晶衍射仪的原理大致为,一束特征X射线经准直后入射到高度完整的参考晶体a上,a可以去对称或不对称Bragg几何把X射线作选择反射。由于a的高度完整,使自a反射的X射线的单色性和发散度都得到明显改善。改善的X射线入射到样品上,样品的衍射记录在探测器上。

为了提高入射线的平行度和色性,可用多块晶体代替参考晶体a,XRD晶粒尺寸检测测试,如果把样品在其选定衍射的Brag角附近绕垂直于微入射面的轴转动,就可获得样品的反射强度随角度变化的曲线,即所谓摇摆曲线。从摇摆曲线可提取的信息有:



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XRD定性分析

实际上,XRD作为定性分析手段并不是盲目的,不是所有情况都需要通过Jade对样品进行Search amp; Match, 而实际上Jade由于标准卡片的数目限制也无法涵盖所有物质的标准谱图。因此,借助分析软件只是为了便利,从根本上来说,重要的是XRD谱图本身。这一点和物理吸脱附实验一样,XRD晶粒尺寸检测费用多少,关键的是吸附等温线,而比表面积,贵州XRD晶粒尺寸检测,孔容孔径只是采用理论模型针对吸附等温线进行处理而已。这个本末关系大家一定要搞清楚。

为了强调XRD谱图本身的重要性,XRD晶粒尺寸检测平台,采用合金的形成与否作为例子进行简单地介绍。对于双金属(多金属)纳米颗粒而言,XRD是一种常见的判断其是否形成合金的手段。判断的依据不是基于JCPDS标准图谱,而仅仅基于XRD衍射图样。



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