AlGaN材料XRD检测测试 半导体研究所

AlGaN材料XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

研究薄膜结构的方法多种多样，江苏AlGaN材料XRD检测，如TEM、SEM、电子探针、电子衍射、离子衍射、X射线衍射和衍射等等。在这些方法中，X射线衍射比较好。由于X射线的本质使X射线方法对厚度从原子尺度至几十微米的薄膜是灵敏的。所以，不论对于单晶膜、多晶膜还是非晶膜，AlGaN材料XRD检测哪家好，X射线方法以其具有非破坏性、迅速、和制样简单的优点获得青睐。

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计数管法

用X射线测定应力，其精度受到许多因素的影响，如被测试件材料的结构、晶粒的粗细程度、衍射面的选择、X射线的波长、采用的测量方法、被测试件表面的平滑度和处理情况等。

70年始使用的多缝平行光阑的平行光束X射线应力测定仪，具有限制X射线入射和衍射光束的水平发散度的效能，提高了测量的精度。X射线测定应力的精度，已能达到±（1～2）千克力/毫米2。

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什么样的样品适合生长单晶？分子结构角度考虑：

刚性化合物比柔性的更容易，链超过4 个碳的一般难以培养单晶；

从晶体学家角度考虑，分子中好不含叔丁基，因为容易无序，影响单晶解析的质量，但是从化学角度考虑，AlGaN材料XRD检测测试，叔丁基可增加溶解度，所以也经常使用。和根等也存在类似的问题；

更换取代基有时会有理想的效果。如 4－取代化合物比取代化合物往往容易长单晶。

外观角度判断培养前景：

旋蒸或简单重结晶所得样品，如果光泽很好 (不是贴在烧瓶内壁的一层薄膜刮下来之后产生的光泽)，在显微镜下观察，如果是块状，有规则外形，则容易生长；

油状物很难长出单晶，经过进一步提纯后再去培养。

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