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- 2022-11-30 10:31:35
XRD摇摆曲线检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
X射线发生器
X射线发生器由X射线管、高压发生器、管压和管流稳定电路以及保护电路等组成。这里着重介绍X射线管。X射线管的实质是个真空二极管,XRD摇摆曲线检测分析,其阴极是钨丝,阳极为金属片。
在阴极两端加上电流之后,钨丝发热,产生热辐射电子。这些电子在高压电场作用下被加速,轰击阳极(又称靶),产生X射线(此过程产生大量热量,为了保护靶材,必须确保循环水系统工作正常)。
常见的阳极靶材有:Cr, Fe, Co, Ni, Cu, Mo, Ag, W,常用的是Cu靶。
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关于XRD图谱
1)衍射线宽化的原因
用衍射仪测定衍射峰的宽化包括仪器宽化、试样本身引起的宽化。试样引起的宽化又包括晶块尺寸大小的影响、不均匀应变(微观应变)和堆积层错(在衍射峰的高角一侧引起长的尾巴)。后二个因素是由于试样晶体结构的不完整所造成的。
2)半高宽、样品宽化和仪器宽化
样品的衍射峰加宽可以用半高宽来表示,样品的半高宽FWHM是仪器加宽FW(I)和样品性质(晶块尺寸细化和微观应力存在)加宽FW(S)的卷积。为了求得样品加宽FW(S),必须建立一个仪器加宽FW(I)与衍射角θ之间的关系,西藏自治XRD摇摆曲线检测,也称为FWHM曲线。 该曲线可以通过测量一个标样的衍射谱来获得。标样应当与被测试样的结晶状态相同,标样必须是无应力且无晶块尺寸细化的样品,晶粒度在25μm以上,如NISTA60Si和LaB6等。
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在做单晶X射线衍射(单晶XRD)测试时,工作人员在与很多同学沟通中了解到,好多同学对单晶XRD不太了解,针对此,相关同事对单晶xrd常见问答进行整理,希望可以帮助到科研圈的伙伴们;
1.怎么看独立可观测点和衍射点分别是多少?
答:可以在后缀是.abs文件中查看。
2.没有吸收校正文件,对后期发文章有影响吗?
答:这个不是必要提交文件,发文章主要提交cif, checkcif文件。
3.一般晶体长出来,在光学显微镜看,显微镜调到多少合适?
答:这个没有固定的,每个晶体大小不一样,先调低倍,再慢慢往上调。
4.如果键长超出了该有的范围,会出现A类错误。不知道如何解释?
答:可以用指令DFIX,来限定原子间的距离。
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