XRD晶粒尺寸检测多少 半导体薄膜测试机构

XRD晶粒尺寸检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，辽宁XRD晶粒尺寸检测，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

制作试样的技巧

1.将试样研磨，过筛至手摸无颗粒感

2.对于软而不便研磨的物质，可冷却变脆，然后研磨

3.若试样中具有不同硬度的物质，在研磨中需要不断过筛，分离出粉化部分，防止过细，后将试样混合均匀。

4.若试样是块状而且是高度无序取向的微晶颗粒，可直接使用，如岩石、金属等。

5.金属和合金试样可碾压成平板使用，考虑到加工过程中引起择优取向，可做退火处理。

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1）若样品为退火态粉末，此时无应变产生，衍射线宽化完全因样品晶粒尺寸过小导致的，此时应选择SIZE only。

2）若样品为合金块状样品 ，结晶完整且加工过程中没有破碎，此时，线性宽化是由微观应变引起的，XRD晶粒尺寸检测费用多少，选择Strain only。

3）如样品存在上述两种情况，XRD晶粒尺寸检测报告，则应选择size/strain。

注意

a.利用XRD进行晶粒大小计算时，前提是假定晶粒为“球形”，所以其测出来的粒径不是很可靠，结果总是小于SEM和TEM，但无法进行和TEM时，其结果仍具有一定的参考依据。

b.该方法获得的晶粒尺寸是平均晶粒尺寸，是不同晶面上各衍射方向晶粒度大均值，若需要计算某一晶面上的晶粒尺寸，可采用“计算峰面积”命令。

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另外，XRD晶粒尺寸检测价格，也可以利用谢乐公式计算：

谢乐公式的应用方法Dc = 0.89λ /（B cos θ）（λ为X 射线波长， B为衍射峰 半高宽， θ 为衍射角）双线法（Williams-Hall）测定金属晶体中的微观应力。晶块尺寸小于0.1μm，且有不均匀应变时衍射线宽化。可用谢乐方程或Hall法作定量计算。谢乐方程的假设是试样中没有晶体结构的不完整引起的宽化，则衍射线的宽化只是由晶块尺寸造成的，而且晶块尺寸是均匀的。需注意，晶粒大于100纳米以上，用谢乐公式不太准确，因为其半高宽的原因。准确的是在40nm左右，但是，低于100n都可以谢乐公式来算。另外，谢乐公式只适合球形粒子。

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