XRD物相分析检测平台 半导体XRD薄膜测试

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2022-12-14 14:38:11
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XRD物相分析检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

20.什么粒径范围才能用XRD进行粒度计算?

答:谢乐公式计算晶粒尺寸的适用条件:晶粒尺寸lt;100nm。

21.在计算半高宽时,k有好几种取值,要如何选取?

答:谢乐公式中的β为衍射峰的半高峰宽时,k=0.89,β为衍射峰的积分宽度时,k=1.0。其中积分宽度=衍射峰面积积分/峰高

22.将磷酸银负载在氧化锌表面上,普通沉淀法制备的,磷酸银的210峰发生右移,能是什么原因呢?

答:XRD峰右移,也就是向高角度方向移动,根据布拉格方程,XRD物相分析检测服务,角度增大,晶面间距d减小,晶胞参数减小。说明磷酸银被负载到氧化锌表面后,由于二者之间的某种相互作用,XRD物相分析检测平台,导致氧化锌的晶体被掺杂或者产生了缺陷,使得其晶胞参数减小。



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4.择优生长是不是就意味着是单晶?

不是,择优生长是晶粒沿着某晶面方面排列,和晶体结构类型没有必然联系,单晶也有多个晶面,也可以发生择优取向。

5.粉末催化剂送样的时候再次研磨再送样?

是否需要再次研磨和是不是催化剂没有直接关系,只要样品粒度比较粗,都需研磨。

6.花样和峰怎么样才算对上竖线没有峰顶或者超过算是对上么?在已经做好的jade图上加载另一个曲线可以再同一个图操作继续对pdf卡片么?

XRD定性分析的时候对峰位置还有峰强的容忍性都比较大,所以峰位相差零点几度或者峰强高点低点都影响不大。在已经做好的图上,jade里面不能在一个界面对多个数据进行分析,但是同一个数据如果有多个物相,是可以多次来匹配PDF卡片的。这个是肯定可以的。



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晶粒大小的计算

衍射粉末晶粒大小的计算主要是以衍射图谱的半宽高为依据来进行相关计算。如果把衍射峰简单地看作是一个三角形,那么峰的面积等于峰高乘以一半高处的宽度。这个半高处的高度有个专门名词,称为“半高宽”,英文写法是FWHM。

样品的晶粒比常规的晶粒小或晶粒内部存在微观的应变均会引起FWHM变宽,导致结果存在误差。所以在使用jade计算时,不同的粉末状态对应不同的计算方法,应根据粉末的实际情况选择相应的宽化因素。



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