半导体研究所 云南XRD掠入射(GIXRD)检测

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2022-12-15 15:17:18
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XRD掠入射(GIXRD)检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,云南XRD掠入射(GIXRD)检测,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


关于试片平面的准备

一般讲,尺寸细且均匀,颗粒成球状,性质比较稳定的粉末样品是比较理想的。

关于压制样品:一般的粉末样品好能够盖满整个样品槽,较少的时候沿着与光源垂直的方向成一个线状分布也可以,压的时候不要用太大力气,对于一些粘性比较大的样品可以先蒙上一张称量纸,上面用玻璃片轻轻压平,XRD掠入射(GIXRD)检测测试,然后将称量纸轻轻取下来即可。

需要注意的问题:对于同一系列的样品,如果力道差别很大,就会引起样品密度的变化,从而会使衍射的强度受到影响。

关于试片的厚度

X射线的穿透能力很强,一般在10μm~20μm的数量级。所以必须考虑试样的厚度




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1.如果谱图中出现了并峰(两个峰并成了一个大峰)怎么解释?

答:出现并峰的这两个峰应该离的很近,并峰说明这两个峰对应的晶面没有长好(如果对样品进行了某种处理,那么也有可能这种处理方式破坏了这两个晶面)

2.当某种物质部分结晶时,为使定量,有没有其他辅助方式?

答:部分结晶的物相至少要出现三强峰,此时可以进行定量无需辅助。否则不能进行定量。

3.研磨样品200目怎么控制呢?

答:200目是大概的范围,XRD掠入射(GIXRD)检测报告,可以用筛子筛分。

4.晶胞结构亚微米级别,研磨以后会不会破坏晶体结构,影响分析?

答:过度研磨是会破坏晶体结构,影响分析的。





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X射线衍射仪

基本构成

(1)样品及样品位置取向的调整机构系统样品须是单晶、粉末、多晶或微晶的固体块。

(2)高稳定度X射线源提供测量所需的X射线,改变X射线管阳极靶材质可改变X射线的波长, 调节阳极电压可控制X射线源的强度。

(3)射线检测器 检测衍射强度或同时检测衍射方向,通过仪器测量记录系统或计算机处理系统可以得到多晶衍射图谱数据。

(4)衍射图的处理分析系统现代X射线衍射仪都附带安装有衍射图处理分析软件的计算机系统, 它们的特点是自动化和智能化。






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半导体研究所-云南XRD掠入射(GIXRD)检测由广东省科学院半导体研究所提供。广东省科学院半导体研究所为客户提供“结构性能测试,光电性能测试,性能形貌测试”等业务,公司拥有“半导体”等品牌,专注于技术合作等行业。,在广州市天河区长兴路363号的名声不错。欢迎来电垂询,联系人:王小姐。

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