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- 2022-12-17 12:35:14
XRD小角度检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
X-射线照射到超细粉末颗粒（粒径小于几百埃，不管其是晶体还是非晶体）也会发生相干散射现象，也发生在低角度区。但是由微细颗粒产生的相干散射图的特征与上述的由超大晶面间距或薄膜产生的小角 X 射线衍射图的特征完全不同。小角衍射，一般应用于测定超大晶面间距或薄膜厚度以及薄膜的微观周期结构、周期排列的孔分布等问题；小角散射则是应用于测定超细粉体或疏松多孔材料孔分布的有关性质 。
X-射线照射到样品上还会发生非相干散射，其强度分别也主要集中在在低角度范围，康普顿散射就属于此类，其结果是增加背景。
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衍射峰左右不对称是何原因?
衍射仪获得的衍射峰形(地说是衍射线的剖面，diffraction lineprofile)是不对称的， 尤其是在低角度区(2θ lt; 30°)表现更为明显。峰型不对称是由多方面的因素造成的，主要是衍射仪光路的几何因素、仪器的调整状况以 及样品的吸收性质等。
为什么有的 XRD data 中，北京XRD小角度检测，有(200)(400)面，而没有基本的(100)面数据?或者有 (220)而没有(110)?粉晶衍射不一定能出现所有的面网，很多物质的粉晶衍射都不一定出现(100)(110)，XRD小角度检测价格，这 与结构有关。晶体衍射有个叫"消光"的现象，晶体的"消光规律"决定于它的结构的对称性，不同的空间群 其"消光规律"不同。如果应该出现的衍射而没有出现，那就是样品的择优取向引起的。再者(100)面的角度比较低，有时是没有扫到或淹没在低角度的背景中了。
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衍射峰的强度好像和仪器有很大的关系，因为以前用 Rigaku 的 Dmax，每次都是几千，但现在用 Bruker 或者 Philips，好像每次都在一千以下，不知道是什么问题。粉末的结晶肯定是好的。
与发生器的功率有关。你曾使用的 Rigaku 的 Dmax 是高功率的转靶衍射仪吧？强度也和衍射仪的扫描半径有关。
用国产仪器测的 XRD 数据能不能用于 Retrieve 精修?
国产衍射仪的基本技术指标（测角准确度、重现性、分辨率，XRD小角度检测机构，衍射强度稳定性、长期工作 稳定性等指标）与进口衍射仪并无水平级的差异。配有石墨弯晶单色器的国产衍射仪，正确选择狭缝、采数步宽和步进计数时间（保证峰强度），同样能够获得能够用于Retrieve精修的衍射数据。
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