半导体XRD薄膜测试 海南大功率XRD检测

大功率XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

小角X射线散射（Small Angle X-ray Scattering)和小角X射线衍射(Small angle x-ray diffraction)是一回事吗？

早期小角 X 射线散射仅指超细颗粒在低角度范围（常指2θlt;20°）上的 X射线散射，而现在，小角X射线散射通指在低角度范围（常指 2θlt;10°~20°）的 X 射线散射。

X-射线照射到晶体上发生相干散射（存在位相关系）的物理现象叫衍射，即使发生在低角度也是衍射。例如，某相的d值为 31.5?，相应衍射为2.80°（Cu-Kα），如果该相有很高的结晶度，大功率XRD检测实验室，31.5?峰还是十分尖锐的。薄膜也能产生取决于薄膜厚度与薄膜微观结构的、集中在小角范围内的 X 射线衍射。在这些情况下，样品的小角X射线散射强度主要来自样品的衍射，称之为角X射线衍射。对这类样品，人们关心的是其的 d 值或者是薄膜厚度与结构，大功率XRD检测分析，必须研究其小角X射线衍射。

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如何计算出来理论衍射图(给定晶格参数和实验参数后，如何计算得到 X 射线衍射图)?

先，模拟（就是你说的"计算"）是要基于许多理论模型的，因为粉末衍射图样的形成要 受很多因素的影响，峰的位置、形状，峰彼此之间的影响都可以用一些模型来描述，三两句话说不清楚；

第二，有大量的现成的软件可以用；

第三，如果你打算把粉末衍射的模拟作为你的研究课题，你应该多看一些文献和基本原理 的介绍。只要你有了晶胞参数、原子坐标，就可以用大量的现成的软件来计算出的X 射线粉末衍射图。

有单晶 X 射线衍射推算出来的晶胞参数，请问我怎么才能反推算出该晶体的粉晶衍射图？

需要原子坐标！如果你有结构数据，就可以从理论上算出粉末衍射图。例如，通过Fullprof、 Diamond软件工具即可以得到该晶体的粉末 XRD 图，也可以使用 Materials Studio 的 reflex plus 模块算出来，不用自己手工算了。

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高精度测角仪是怎么实现θ/2θ倍角转动的?

这种装置能够保证严格的倍角同步吗?θ/2θ是两个同轴的园，θ是带动样品转动的园，而 2θ是探测器转动的园，这样设计的目 的是为了保证样品在转动中的衍射焦点始终在探测器转动的大园上。现代的衍射仪用2 个步 进电机分别独立控制θ和 2θ园的转动，控制电路能够保证两个园按 1:2 转速比转动，保证 两个园的转动严格倍角同步。磁性材料比如 NdFeB 或者 NdFeN 的粉末，大功率XRD检测哪里可以做，是不是会因为磁性的存在会产生择优取向?磁性材料肯定是具择优取向的，否则就没有磁性了，制样时应当磨成粉末，可以抑制这种取 向趋势。"择优取向"会使很多本来有的衍射峰出不来。

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