江苏XRD摇摆曲线检测 半导体XRD测试机构

XRD摇摆曲线检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

另外，也可以利用谢乐公式计算：

谢乐公式的应用方法Dc = 0.89λ /（B cos θ）（λ为X 射线波长， B为衍射峰 半高宽， θ 为衍射角）双线法（Williams-Hall）测定金属晶体中的微观应力。晶块尺寸小于0.1μm，且有不均匀应变时衍射线宽化。可用谢乐方程或Hall法作定量计算。谢乐方程的假设是试样中没有晶体结构的不完整引起的宽化，XRD摇摆曲线检测费用多少，则衍射线的宽化只是由晶块尺寸造成的，而且晶块尺寸是均匀的。需注意，晶粒大于100纳米以上，用谢乐公式不太准确，XRD摇摆曲线检测报告，因为其半高宽的原因。准确的是在40nm左右，但是，低于100n都可以谢乐公式来算。另外，XRD摇摆曲线检测分析，谢乐公式只适合球形粒子。

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研究薄膜结构的方法多种多样，如TEM、SEM、电子探针、电子衍射、离子衍射、X射线衍射和衍射等等。在这些方法中，X射线衍射比较好。由于X射线的本质使X射线方法对厚度从原子尺度至几十微米的薄膜是灵敏的。所以，不论对于单晶膜、多晶膜还是非晶膜，X射线方法以其具有非破坏性、迅速、和制样简单的优点获得青睐。

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什么是应力？

物体由于外因（受力、湿度、温度场变化等）而变形时，在物体内各部分之间产生相互作用的内力，以抵抗这种外因的作用，并试图使物体从变形后的位置恢复到变形前的位置。在所考察的截面某一点单位面积上的内力称为应力。同截面垂直的称为正应力或法向应力，同截面相切的称为剪应力或切应力。

物体中一点在所有可能方向上的应力称为该点的应力状态。但过一点可作无数个平面，江苏XRD摇摆曲线检测，是否要用无数个平面上的应力才能描述点的应力状态呢？通过下面的分析可知，只需用过一点的任意一组相互垂直的三个平面上的应力就可代表点的应力状态，而其它截面上的应力都可用这组应力及其与需考察的截面的方位关系来表示。

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