【半导体气浮盘，chuck卡盘，耐酸碱PFA静电喷涂加工】

【DLC涂层的冲压模具、DLC类金刚石镀层、碳纳米管镀层、溅射二硫化钼涂层、石墨烯镀层、GLC碳纳米镀层，应用各类精密运动部件，无油润滑降低摩擦系数】

DLC涂层的冲压模具，包括上模具、螺纹连接于上模具下方的下模具、设于上模具后端的螺柱与固定安装于下模具上端外表面的弹簧柱，所述下模具的两侧靠近前端的位置分别设置有第D一挂定套筒和D二挂定套筒，所述上模具的两侧靠近后端的位置分别设置有D三挂定套筒和D四挂定套筒，所述D一挂定套筒的前端外表面设置有夹紧机构，所述D一挂定套筒的内部设置有卡限机构，所述D一挂定套筒的下端开设有连接槽，所述连接槽的内部活动连接有滑移机构。该涂覆DLC涂层的冲压模具可以较为方便且稳固的挂定于涂覆工作室内，而且还可以以多种姿态挂定在涂覆工作室内部，能够使得冲压模具在涂覆DLC涂层时能够较为充分。

     DLC涂层是在电离和分解的碳或烃类物质以通常为10-300eV的能量降落在基底表面时形成的。DLC膜具有优异的机械(高硬度)、光学(高光学带隙)、电学(高电阻率)、化学(惰性)和摩擦学(低摩擦和磨损系数)性能，并可在低衬底温度(~200°C)下沉积

类金刚石（diamond-like carbon，DLC）具有比较高的硬度、高导热性、高绝缘性、良好的化学稳定性、从红外到紫外的高光学透过率和良好的减摩特性等。这与金刚石相似，但是，除减摩性能优良外，其它性能均低于金刚石膜。类金刚石膜可广泛用于机械、电子、光学、热学、声学、医学等领域，并且作为减摩耐磨涂层应用于航空航天、金属加工、医疗器件等众多领域。

工作温度: 280°C 

厚度:1-4um 

颜色:灰黑色

粗糙度: 同等于产品基材表面粗糙度

耐磨性: . − (5mm 直径碳化钨小球，80N 压力， 470rpmφ8mm 圆周运动 30 分

钟)