半导体XRD研究所 XRD摇摆曲线检测测试

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2023-04-08 14:58:02
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XRD摇摆曲线检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

X射线衍射分析( X-raydiffraction ,简称XRD ),是利用晶体形成的X射线衍射 ,四川XRD摇摆曲线检测,对物质进行内部原子在空间分布状况的结构分析方法。

仪器技术参数

小角衍小角可以达到0.4度,主要测介孔材料和其他高分子复合材料。广角衍射:低角度可以达到5度,可以接收到小于10度的衍射峰。

(1 )测量精度:角度重现性 0.0001° ;测角仪半径≥200mm ,测角圆直径可连续变

(2)小步长0.0001°;角度范围(20):-110~168°;温度范围:室温~900°C;

(3)大输出: 3KW ;稳定性: 0.01% ;管电压: 20~ 60kV(1kV/1step) ;管电流: 10~ 60mA。

送样要求

固体粉末:均均干燥,粒度小于70um (过200目) , 质不少于100mg ;块体、金属及薄膜样品:需加工出一平整的表面,尺寸约为20mmx 10mmx 2mm

应用领域

物相分析,可以对物质的组成及物相进行表征分析.定性、定量分析,通过精修可对物质的各组分进行的定量分析。




欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~XRD摇摆曲线检测


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X射线衍射(XRD)是一种用于表征结晶材料的强大的非破坏性技术。 它提供有关晶体结构、相、优选晶体取向(纹理)和其他结构参数的信息,XRD摇摆曲线检测费用多少,例如平均晶粒尺寸、结晶度、应变和晶体缺陷。 此外,X 射线衍射峰是由从样品中每组晶格平面以特定角度衍射的单色 X 射线束的相长干涉产生的。 峰强度由晶格内原子的分布决定。 因此, X射线衍射图案是给定材料中周期性原子排列的指纹湖 。

单晶XRD检测理想用途

一、晶相的鉴定/定量

测量散装材料和薄膜中的平均微晶尺寸、应变或微应变效应

量化薄膜、多层堆叠和制造部件中的优选取向(纹理)

确定散装材料和薄膜中结晶材料与非晶材料的比例

适用于各种散装和薄膜样品的相识别

检测微小晶相(浓度大于~1%)

确定多晶薄膜和材料的微晶尺寸

确定结晶形式的材料相对于无定形的百分比

测量亚毫克松散粉末或干燥溶液样品以进行相鉴定

分析薄至50?的薄膜的质构和相位行为

确定外延薄膜中的应变和成分

确定单晶材料的表面切口

后,测量大块金属和陶瓷中的残余应力




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xrd峰强度高低说明什么

xrd峰强度高低说明相对背地强度高低,表示晶相含量,跟面积表示晶相含量一致。峰的面积表示晶体含量,面积越大,晶相含量越高。峰窄说明晶粒大,可以用谢乐公式算晶粒尺寸。

峰的强度低是XRD图谱的性质,就是峰不是很尖锐,峰很钝,学名叫做宽化,XRD摇摆曲线检测测试,这样反应的样品性质就是粒径很小,XRD摇摆曲线检测多少钱,结晶度低是样品的性质,反映在图谱上就是有很大的噪音,图谱毛刺现象很重,需要平滑之后才能看。



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