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- 2023-04-07 12:35:46
AlGaN材料XRD检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
X射线衍射残余应力测定的sin2ψ法应力是通过应变来进行测定的，AlGaN材料XRD检测测试，对于多晶体材料而言，残余应力所对应的应变被认为是相应区域里晶格应变的统计结果，因此依据X射线衍射原理测定晶格应变，即可计算残余应力。
X射线衍射残余应力测定的sin2ψ法
材料的残余应力与宏观应变相对应，宏观应变被认为等同于晶格应变，上海AlGaN材料XRD检测，晶格应变即晶面间距的相对变化，而晶面间距的变化可以通过衍射装置依据布拉格定律求出，这便是X射线衍射残余应力测定法的完整思路。
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采用X射线衍射法测定残余应力，早是由俄国学者阿克先诺夫在1929年提出，把材料的宏观应变等同于晶格应变。1961年德国学者Macherauch基于这个思路研究出sin2ψ法，使得X射线衍射测定残余应力逐渐成为成熟的、具有可操作性的测试技术。
X射线衍射测定残余应力技术经过60a的发展，开展出多种不同的测量方法。目前X射线衍射测定残余应力技术主要有sin2ψ法与cosα法两种。
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X射线衍射（XRD）是一种用于表征结晶材料的强大的非破坏性技术。 它提供有关晶体结构、相、优选晶体取向（纹理）和其他结构参数的信息，例如平均晶粒尺寸、结晶度、应变和晶体缺陷。 此外，AlGaN材料XRD检测价格，X 射线衍射峰是由从样品中每组晶格平面以特定角度衍射的单色 X 射线束的相长干涉产生的。 峰强度由晶格内原子的分布决定。 因此， X射线衍射图案是给定材料中周期性原子排列的指纹湖 。
单晶XRD检测理想用途
一、晶相的鉴定/定量
测量散装材料和薄膜中的平均微晶尺寸、应变或微应变效应
量化薄膜、多层堆叠和制造部件中的优选取向（纹理）
确定散装材料和薄膜中结晶材料与非晶材料的比例
适用于各种散装和薄膜样品的相识别
检测微小晶相（浓度大于~1％）
确定多晶薄膜和材料的微晶尺寸
确定结晶形式的材料相对于无定形的百分比
测量亚毫克松散粉末或干燥溶液样品以进行相鉴定
分析薄至50?的薄膜的质构和相位行为
确定外延薄膜中的应变和成分
确定单晶材料的表面切口
后，测量大块金属和陶瓷中的残余应力
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