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- 2023-04-10 13:16:06
XRD薄膜检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
X射线衍射残余应力测定的sin2ψ法应力是通过应变来进行测定的,对于多晶体材料而言,残余应力所对应的应变被认为是相应区域里晶格应变的统计结果,因此依据X射线衍射原理测定晶格应变,即可计算残余应力。
X射线衍射残余应力测定的sin2ψ法
材料的残余应力与宏观应变相对应,宏观应变被认为等同于晶格应变,晶格应变即晶面间距的相对变化,XRD薄膜检测价格,而晶面间距的变化可以通过衍射装置依据布拉格定律求出,这便是X射线衍射残余应力测定法的完整思路。
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XRD与EDS有什么区别
SEM,XRD薄膜检测费用多少,EDS,XRD的区别,SEM是扫描电镜,EDS是扫描电镜上配搭的一个用于微区分析成分的配件——能谱仪,是用来对材料微区成分元素种类与含量分析,配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。XRD是X射线衍射仪,是用于物相分析的检测设备。
SEM用于观察标本的表面结构,其工作原理是用一束极细的电子束扫描样品,在样品表面激发出次级电子,次级电子的多少与电子束入射角有关,也就是说与样 品的表面结构有关,次级电子由探测体收集,并在那里被闪烁器转变为光信号,再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度,显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象,反映了标本的表面结构。
EDS的原理是各种元素具有自己的X射线特征波长,特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E,能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。
XRD是利用衍射原理,测定物质的晶体结构,织构及应力,的进行物相分析,定性分析,定量分析。
说简单点,SEM是用来看微观形貌的,观察表面的形态、断口、微裂纹等等;EDS则是检测元素及其分布,但是H元素不能检测;XRD观察的是组织结构,广西壮族自治XRD薄膜检测,可以测各个相的比例、晶体结构等。
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X射线衍射技术(XRD)在建筑材料检测中的应用
样品要求X射线衍射技术适用于多种类型产品的检测,送检样品可为粉末状、块状、薄膜、镀膜及其它形状。样品种类不同,具体要求也有所区别:
①粉末样品需要量约为2g以上(视其密度和衍射能力而定),送检粉末样品需预先干燥并研磨至大于200目;
②块状和薄膜样品要求宽度不小于1.5cm、厚度不大于0.5cm近似平面试样;
③对于测量金属样品的微观应力(晶格畸变),测量残余奥氏体,要求制备成金相样品,并进行普通抛光或电解抛光,消除表面应变层;
④若样品在空气中不稳定,会吸湿、风化、分解,则需采取保护隔离措施,若试样、、有毒,则应采取相应的防护措施。
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