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- 2023-05-03 14:23:12
锂电XRD检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
Ψ角设置
?如果被测材料无明显织构，并且衍射效应良好，衍射计数强度较高，在每一个φ角下只设置两个Ψ角即可，例如较为典型的0°～45°法，这样在确保一定测试精度的前提下，可以提高测试的速度，节省仪器的使用资源。
?一般情况下，在每个φ角下，Ψ角设置越多则应力测试精度就越高。
?对于多Ψ角情况的应力测试，Ψ角间隔划分原则是尽量确保各个sin2Ψ值为等间隔，例如Ψ角可设置为0°、24° 、35°及45°，这是一种较为典型的Ψ角系列。
●辐射波长与衍射晶面
?为减小测试误差，在应力测试过程中尽可能选择高角衍射，锂电XRD检测测试，而实现高角衍射的途径则是选择合适辐射波长及衍射晶面。
?由于X射线应力常数K与cotθ0值成正比，而待测应力又与应力常数成正比，因此布拉格角θ0越大则K越小，应力的测试误差就越小。
?辐射波长还影响穿透深度，波长越短则穿透深度越大，参与衍射的晶粒就越多。
?选则高角衍射还可以有效减小仪器的机械调整误差等。
欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~锂电XRD检测
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实验条件
●限定照射面积
?通过狭缝、准直管来限制入射光束或通过遮挡的方法来限制照射面积
●测点位置设定
?对于一个实际试样，应根据应力分析的要求，结合试样的加工工艺、几何形状、工作状态等综合考虑，确定测点的分布和待测应力的方向。
?校准试样位置和方向的原则为:
(a)测点位置应落在测角仪的回转中心上；
(b)待测应力方向应处于平面以内；
(c)测角仪Ψ=0°位置的入射光与衍射光之中线应与待测点表面垂直。
●在常规X射线衍射分析中，选择正确的测试参数，目的是获得完整且光滑的衍射谱线。
●X射线应力测试，除满足以上要求外，还必须考虑诸如角设置、辐射波长、衍射晶面以及应力常数等因素的影响。
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●当材料中存在单向拉应力时，锂电XRD检测实验室，平行于应力方向的(hkI)晶面间距收缩减小(衍射角增大)
●垂直于应力方向的同族晶面间距拉伸增大(衍射角减小)
●其它方向的同族晶面间距及衍射角则处于中间。●当材料中存在压应力时，其晶面间距及衍射角的变化与拉应力相反。材料中宏观应力越大，不同方位同族晶面间距或衍射角之差异就越明显，这是测试宏观应力的理论基础。●由于X射线穿透深度较浅(约10μm)，黑龙江锂电XRD检测，材料表面应力通常表现为二维应力状态，法线方向的应力(σz)为零。φ及ψ为空间任意方向OP的网个万位用，εφψ为材料沿OP方向的弹性应变，σx及σy分别为x及y方向正应力。此外，还存在切应力τxy
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