SPV-100MWR是一款半导体专用低压微波等离子清洗系统。通过对真空腔体壁上的窗口施加频率为2.45GHz的微波，产生大量且持续的Plasma，进入腔体对芯片进行工艺清洗。适用于不同尺寸的料盒，可满足不同需求，提供客制化解决方案，符合行业标准，且价格是进口品牌三分之二。