感应耦合等离子刻蚀材料刻蚀平台 福建材料刻蚀平台 半导体加工

氮化镓材料刻蚀加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

蚀刻加工的工艺怎么去处理？

　　1、蚀刻加工件的清理：蚀刻加工结束后要立即将蚀刻加工件进行水清洗整洁，因为蚀刻液全是强腐蚀的液體。假如残余在蚀刻加工产品工件的表层，会导致蚀刻加工商品的浸蚀毁坏或掉色。

　　2、消除耐腐蚀防护层：蚀刻加工制品经清理整洁后烘干，除去维护镀层。如果选用的是黏贴的有机膜可以直接一片脱离；如果是建筑涂料或印刷油墨，感应耦合等离子刻蚀材料刻蚀平台，则选用合理的或化学溶液融解消除。

　　3、表层精饰：金属蚀刻后的制品可依据设计方案规定开展表层精饰。假如规定表面光洁的，可进行化学抛光，一方面能够耐蚀原材料等残余物，还可以除去蚀刻加工过程中附在表层的浸蚀物质。此外，可以根据打磨抛光提升表层的光泽度。

　　4、表层钝化处理或着色：蚀刻加工后如若要进行文本加工或图案设计的话，加工原件表层要进行展钝化处理或安全防护解决。用在装饰设计上的产品可进行上色或刮涂解决。

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清洗方式︰

水平喷淋式:这种方法速度快，微流控材料刻蚀平台，清洗效果好;

垂直浸泡式:速度较慢，可选用超声波清洗效果会更好﹔

测试清洁度的方法∶双手侧捧清洗后的金属片材，放入干净的清水中，45°角拿起，板面水膜维持15秒不破，若水膜马上从中间或边上破开，则清洗度不够需要重新清洗。

材料清洗对于蚀刻加工来说至为重要，直接影响感光油墨附着，显影的度，蚀刻的精度等，所以清洗是蚀刻加工流程的一环。

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氮化镓材料刻蚀加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，硅孔材料刻蚀平台，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

干法刻蚀也可以根据被刻蚀的材料类型来分类，如刻蚀氮化镓、氧化硅、氮化硅、铝镓氮等材料。

ICP（感应耦合等离子）刻蚀GaN是物料溅射和化学反应相结合的复杂过程。刻蚀GaN主要使用到和三氯化硼，刻蚀过程中材料表面表面的Ga-N键在离子轰击下，此为物理溅射，产生活性的Ga和N原子，氮原子相互结合容易析出氮气，Ga原子和Cl离子生成容易挥发的GaCl2或者GaCl3。

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