天河微纳加工实验室 半导体研究所 生物芯片微纳加工实验室

MEMS微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微纳加工中EMI溅射镀膜的特点

微纳加工中的EMI：是电磁波会与电子元件作用，产生干扰现象。它有以下几个特点：

A、如果国内拥有自主知识产权的话，价格相比较更低。

B、更加环保，真空溅射属于环保制程，可以做到无污染。

C、虽然真空溅射加工的金属薄膜厚度只有0.5～2μm，但不会影响装配。

D、在材料选择上没有限制，在常见的常温固态导电金属及有机材料、绝缘材料皆可使用。

E、EMI膜质致密均匀、膜厚容易控制。

F、被溅射基材几制。

G、它的附著力强（可用ASTM3599的方法测试4B）。

H、可同时搭配多种不同溅射材料之多层膜，功率器件微纳加工实验室，且可随客户变换镀层次序。

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微纳加工实验室——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，微流控微纳加工实验室，以及行业应用技术开发。

主要应用：

一、形貌观测

聚焦离子束轰击样品表面，激发二次电子、中性原子、二次离子和光子等，收集这些信号，经处理显示样品的表面形貌。目前聚焦离子束系统成像分辨率已达到5nm，生物芯片微纳加工实验室，比扫描电镜稍低，但成像具有更真实反映材料表层详细形貌的优点。

二、无掩模蚀刻

高能聚焦离子束轰击样品时，其动能会传递给样品中的原子分子，产生溅射效应，从而达到不断蚀刻，即切割样品的效果。其切割定位精度能达到5nm级别，具有超高的切割精度。

三、薄膜淀积

利用离子束的能量激发化学反应来沉积金属材料和非金属材料。通过气体注入系统将一些金属有机物气体喷涂在样品上需要沉积的区域，当离子束聚焦在该区域时，离子束能量使有机物发生分解，分解后的金属固体成分被沉积下来，而挥发性有机物成分被真空系统抽走。

四、透射电镜样品制备

通常透射电镜的样品厚度需控制在0.1微米以下。传统方法是通过手工研磨和离子溅射减薄来制样，不但费时而且还无法定位。聚焦离子束在制作透射电镜样品时，不但能定位，还能做到不污染和损伤样品。

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MEMS微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，天河微纳加工实验室，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微纳加工技术的国内应用现状

基于制造业对加工精度的要求日益提高，微纳加工技术应运而生，从诞生至今，其应用领域得到了很大扩展。就国内而言，微纳技术除了应用在微电子技术，生命科学生物工程以及材料应用外，在机电工程领域也有应用，但是受技术水平限制，国内的微纳制造技术水平成熟度不够，目前在工业领域的应用比较少。

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天河微纳加工实验室-半导体研究所-生物芯片微纳加工实验室由广东省科学院半导体研究所提供。广东省科学院半导体研究所为客户提供“深硅刻蚀,真空镀膜,磁控溅射,材料刻蚀,紫外光刻”等业务，公司拥有“半导体”等品牌，专注于电子、电工产品加工等行业。，在广州市天河区长兴路363号的名声不错。欢迎来电垂询，联系人：曾经理。