3英寸半导体氧化单晶抛光硅片

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直径 3英寸



生长方式 直拉/区熔





氧化层厚度：可定制





导电类型 P型/N型/本征



晶向



抛光: 单面 双面



TTV（总厚度变化） < 5um



TIR（平整度） < 3um



粗糙度 < 0.5纳米



厚度 : 可定制



电阻率 : 可定制



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