双工位卧式烧结炉|半导体材料烧结炉厂家

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青岛奥博仪表设备有限公司
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发布时间
2013-05-18 11:48:00
产品详情
双工位卧式烧结炉

一、技术指标:

  1、产品名称: 双工位卧式烧结炉

  2、规格:内径φ300㎜ 单真空室600mm,设备总长度2000MM左右

  3、最高使用温度:400℃ 工作温度: 300℃-400℃

  真空室等温区长度:≥500mm

  等温区温度均匀度:±4℃

  单点控制精度:±4℃/24小时

  升温功率:≤15KW,保温功率:≤8KW

  开机重复性:±2℃

  7冷态真空度:10-1Pa以下

  炉体移动速度:XX,炉体定位精度

  升温时间:≤30min(加载后至恒温时间),降温时间:≤30min(工件出炉温度≤100℃),充气压力:≤0.1Mpa

  10:供电方:三相四线 380V±10% 50Hz

二、主要配置:

  1、温度控制仪表:采用日本岛电(SHIMADEN)原装进口仪表(或本公司生产的专业控温仪表)做温度控制单元,实现精确温度控制和内外控温的转换。

  2、加热系统:采用优质高温加热丝绕制加热器,使用寿命长,采用三段控温方式加热温度均匀。采用隔离变压器,大电流低电压供电,长寿命固态继电器触发控制加热。

  3、真空室:主要由耐温不锈钢(310S进口材料)构成,安装在真空管道支架上。橡胶圈密封的工作室可升降,工作室分为工作段和加热段。工作段与冷却段用密封法兰连接。加热段为器件烧结区或扩散区。工作段为真空过度段,连接管道中段的下方连接真空机组,并设有充气接嘴、工作室测温热偶接嘴、放气嘴、水冷夹套等组成。工作室内装有器件托架。

  4、真空系统:2X-15直联真空泵,ZD-52IID,型双复合真空计。电磁真空阀,以实现设备的真空度控制。真空工作室采用耐温不锈钢并带工件托架。

5,水冷却系统:水冷系统主要对真空机组,真空泵,真空室密封胶圈进行冷却,以防止真空系统的返油造成真空室污染和防止密封圈老化造成真空度下降

青岛奥博仪表设备有限公司

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