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半导体行业用膜分离制氮机

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手机: 13575791233
发布时间: 2013-05-23 08:45:00

产品详情

由于膜分离制氮机不需要启动切换阀和电磁阀，比变压吸附制氮机的可靠性更高。膜分离制氮设备通常适合氮气纯度小于等于98%的应用场合。

技术指标

氮气流量：5-1000Nm3/h

氮气纯度：95-99.9%

氮气压力：0-1.2MPa

杭州富阳凯合空分设备有限公司

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