晶片晶锭电阻率测试仪

电阻率是材料最重要的电参数之一。它是半导体器件(如太阳能电池)性能的关键参数,并取决于材料的掺杂密度。为了检测掺杂密度的不均匀性,需要对电阻率进行高精度、高分辨率的测量。