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- 2022-11-27 10:16:23
单晶XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，单晶XRD检测服务，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
计数管法
用X射线测定应力，其精度受到许多因素的影响，如被测试件材料的结构、晶粒的粗细程度、衍射面的选择、X射线的波长、采用的测量方法、被测试件表面的平滑度和处理情况等。
70年始使用的多缝平行光阑的平行光束X射线应力测定仪，单晶XRD检测价格，具有限制X射线入射和衍射光束的水平发散度的效能，提高了测量的精度。X射线测定应力的精度，已能达到±（1～2）千克力/毫米2。
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单晶X射线衍射是利用单晶体对 X射线的衍射效应来测定晶体结构的实验方法。依照强度记录方式的不同，可分为照相法和衍射仪法两类。
照相法使射线作用在胶片上，然后测量底片上衍射点的黑度来获得衍射线的强度数据，根据实验装置和条件的差别，又分为多种方法。
劳厄照相法用连续波长的 X射线照射到静止不动的单晶体上，通常采用平板底片，所摄得的衍射图称为劳厄图。劳厄图常用来测定晶体的对称性和用于晶体的定向等。
优点
形貌观察与结构分析结合
使晶体结构的研究直观，比X射线衍射的简单。
散射能力强，曝光时间短
缺点
只能用来分析方向问题，不能用来测量衍射强度
要求试样薄，试样制备工作复杂
在精度方面也远比X射线低
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①从衬底与表面膜衍射峰的角分离度求得点阵失配和膜的成分；
②当样品绕衬底的衍射矢量转动时，从峰的分离角度的变化，可获得外延膜与衬底的取向差；
③从积分强度比和干涉条纹的振荡周期可以获得膜的厚度；
④从一系列不对称反射，研究有效失配，获得点阵的相干性；
⑤从摇摆曲线的宽化和样品在扫描过程中峰位置的位移求得样品晶片的弯曲度；
⑥从摇摆曲线的半高宽可获得衬底和膜的结晶完整性；
⑦从摇摆曲线的计算机拟合可得到膜厚和膜的成分随深度的变化，等等。
此外，利用双晶衍射仪还可以做倒空间测绘或衍射空间测绘，并由测绘图形来分析样品晶体的完整性。
除此之外，还有掠入射散射和衍射及全反射技术和三轴晶衍射仪法，此处不作详细介绍。
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