半导体XRD研究所 半导体XRD检测实验室

半导体XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，半导体XRD检测实验室，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

什么是应力？

物体由于外因（受力、湿度、温度场变化等）而变形时，在物体内各部分之间产生相互作用的内力，以抵抗这种外因的作用，并试图使物体从变形后的位置恢复到变形前的位置。在所考察的截面某一点单位面积上的内力称为应力。同截面垂直的称为正应力或法向应力，同截面相切的称为剪应力或切应力。

物体中一点在所有可能方向上的应力称为该点的应力状态。但过一点可作无数个平面，是否要用无数个平面上的应力才能描述点的应力状态呢？通过下面的分析可知，只需用过一点的任意一组相互垂直的三个平面上的应力就可代表点的应力状态，而其它截面上的应力都可用这组应力及其与需考察的截面的方位关系来表示。

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变温测定结构相变

还有些样品在某温度存在结构相变，通常这种结构相变会伴随物理性质的变化，为了证实材料是否具有结构相变，半导体XRD检测机构，以及分析相变前后结构的变化，我们就需要选择变温XRD测试，它是研究原位结构相变的得力工具。

研究单晶薄膜

另外一些做单晶薄膜（也叫外延薄膜）相关研究的同学，在测试样品的时候就需要使用高分辨XRD，高分辨XRD通常配有平行光、单色器、欧拉环等附件，可以用来分析薄膜的物相、外延关系(通过Phi扫描)、结晶质量(摇摆曲线)、薄膜面内晶格和应变情况（需要使用倒易空间图reciprocal space mapping）等。

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薄膜分析中常用的X射线方法有：

粉末衍射仪和薄膜衍射仪

现在，分辨率较高的粉末衍射仪已经可以应用于薄膜的分析在多晶粉末衍射仪上添加薄膜附件用于做薄膜的测试即可。例如，日本理学公司用弯曲多层膜全反射和多重晶单色器组合开发出了薄膜衍射仪。从这类衍射仪得到的数据可以提取薄膜的相结构、晶格大小、晶粒尺寸、择优去向等信息。

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