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- 发布时间
- 2022-12-07 17:23:20
XRD掠入射（GIXRD）检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
①从衬底与表面膜衍射峰的角分离度求得点阵失配和膜的成分；
②当样品绕衬底的衍射矢量转动时，从峰的分离角度的变化，可获得外延膜与衬底的取向差；
③从积分强度比和干涉条纹的振荡周期可以获得膜的厚度；
④从一系列不对称反射，研究有效失配，获得点阵的相干性；
⑤从摇摆曲线的宽化和样品在扫描过程中峰位置的位移求得样品晶片的弯曲度；
⑥从摇摆曲线的半高宽可获得衬底和膜的结晶完整性；
⑦从摇摆曲线的计算机拟合可得到膜厚和膜的成分随深度的变化，等等。
此外，利用双晶衍射仪还可以做倒空间测绘或衍射空间测绘，并由测绘图形来分析样品晶体的完整性。
除此之外，还有掠入射散射和衍射及全反射技术和三轴晶衍射仪法，此处不作详细介绍。
欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~XRD掠入射（GIXRD）检测
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11.多晶块体测出来的XRD谱和多晶粉末测出来的一样吗？
答：很有可能不一样。一般晶体结晶时，XRD掠入射（GIXRD）检测测试，都有较强的方向性，特别是有比较多的化合物存在时，这时，扫出来的衍射峰会和标准峰相差较多。有些有取向性的材料，XRD掠入射（GIXRD）检测实验室，某些衍射峰会丢失。
12.涂层/薄膜的小角度掠入射XRD测试，入射角度一般和薄膜厚度怎么来经验匹配？
答：一般情况下，薄膜较薄的话，建议掠入射角度小一点，因为角度越大越容易击穿样品；薄膜较厚时，建议掠入射角度大一点，海南XRD掠入射（GIXRD）检测，因为角度太小样品峰会太弱。实际情况还是得根据具体的样品测试来积累经验。
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XRD定性分析
实际上，XRD作为定性分析手段并不是盲目的，不是所有情况都需要通过Jade对样品进行Search amp; Match， 而实际上Jade由于标准卡片的数目限制也无法涵盖所有物质的标准谱图。因此，借助分析软件只是为了便利，从根本上来说，重要的是XRD谱图本身。这一点和物理吸脱附实验一样，关键的是吸附等温线，而比表面积，孔容孔径只是采用理论模型针对吸附等温线进行处理而已。这个本末关系大家一定要搞清楚。
为了强调XRD谱图本身的重要性，采用合金的形成与否作为例子进行简单地介绍。对于双金属(多金属)纳米颗粒而言，XRD是一种常见的判断其是否形成合金的手段。判断的依据不是基于JCPDS标准图谱，而仅仅基于XRD衍射图样。
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