XRD摇摆曲线检测测试 半导体XRD物相分析

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2022-12-13 17:18:34
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XRD摇摆曲线检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

XRD测试平台是用于检测物相,测定材料的晶体组成,定性,定量分析。它是利用晶体形成的X射线衍射,对物质进行内部原子在空间分布状况的结构分析平台。

常规扫描可以知道晶体的物相,用高温附件可知道在温度变化情况下的物相变化。小角衍射可知道黏土等层状材料的层间距,掠入射模式可测得纳米薄膜材料厚度,还有些特殊工具可测晶体的残余应力、织构信息等。通过对XRD结果分析,还可以测得晶体掺杂情况、物相占比情况等等。




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x射线应力测定法是应力分析方法的一种。它利用X射线穿透金属晶格时发生衍射的原理,测量金属材料或构件的表面层由于晶格间距变化所产生的应变,从而算出应力。可以无损地直接测定试件表层的应力或残余应力。

出于适应工业现场实测和各种结构材料的不同性能以及大型构件的应力测定的需要,当前的研究工作主要是实现测试工作标准化,四川XRD摇摆曲线检测,提高测试精度和测试效率。以及采用双X射线管,双计数管,和配用电子计算机进行数据处理和程序控制的X射线应力测定系统。





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1.如果谱图中出现了并峰(两个峰并成了一个大峰)怎么解释?

答:出现并峰的这两个峰应该离的很近,并峰说明这两个峰对应的晶面没有长好(如果对样品进行了某种处理,那么也有可能这种处理方式破坏了这两个晶面)

2.当某种物质部分结晶时,XRD摇摆曲线检测测试,为使定量,有没有其他辅助方式?

答:部分结晶的物相至少要出现三强峰,XRD摇摆曲线检测价格,此时可以进行定量无需辅助。否则不能进行定量。

3.研磨样品200目怎么控制呢?

答:200目是大概的范围,可以用筛子筛分。

4.晶胞结构亚微米级别,研磨以后会不会破坏晶体结构,影响分析?

答:过度研磨是会破坏晶体结构,影响分析的。





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