半导体XRD检测机构 半导体XRD测试机构

半导体XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

但是，Kβ滤片不能去除样品产生的荧光 X 射线对衍射图的影响。荧光 X 射线的强度将叠加在衍射图的背景上，造成很高的背景，不利于衍射图的分析。因此，半导体XRD检测机构，对于 X 射线衍射仪 来讲，如果设备没有配置弯晶石墨单色器仅使用 Kβ滤片，选波长(或者说选靶)主要考虑的就是样品中的主要组成元素不会受激发而产生强烈的荧光X 射线。如果分析样品中的元素的原子序数比靶的元素的原子序数小1至4，就会出现强的荧光散射。

例如使用 Fe 靶分析主要成分元素为 Fe、Co、Ni 的样品是合适的，而不适合分析含有 Mn Cr V Ti 的物质;Cu 靶不适合于分析有 Cr，半导体XRD检测费用多少，Mn，Fe，Co，Ni 这些元素的物质。所以，对于 Cr 是主要组成元 素的样品，只能选择 Cr 靶 X 射线管。

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Fullprof精修中的 scale 的初值一般是怎么确定的?

比例因子 scale 是指理论计算数据与实验数据之间的比值，一般随便给就可以，不会影响精 修的。只要你的初始模型正确，几轮就可以修到比较合理的值。

做Rietveld 时发现：如果事先对原始数据进行平滑等一系列的预处理会比较容易使R 因子 减小，这样的做法是否不妥？

做 Rietveld 时，是不需要对数据进行平滑处理的，因为平滑处理肯定会使数据在一定程度上失真的。不过，在不影响峰形的前提下进行轻度的平滑处理也是可以的。

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收集 XRD 应注意些什么?(比如收集角度泛围、速度等有什么要求？

衍射峰的强度和很多因素有关，比如样品的衍射能力，性质，还有仪器功率，半导体XRD检测价格，测试方法， 检测器的灵敏度等等。

衍射强度变弱本质的原因是由于晶体颗粒变小，还是样品颗粒变小？

强度除了和晶粒度有关外，还和晶粒的表面状态有关。一般颗粒越细，其表面积越大，表面层结构的缺陷总是比较严重的。结构缺陷将导致衍射强度降低和衍射峰宽化。XRD 研究的应该是晶粒、晶体的问题，与晶体结构关联的问题，不是样品颗粒的大小问题，谢乐公式算的 应该也是晶粒的大小。样品颗粒的大小要用别的方法测定.，例如光散射、X 射线散射、电镜等。

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